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龙图腾网获悉合肥工业大学;无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司申请的专利一种用于晶圆表面无损检测的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119804392B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411910702.3，技术领域涉及：G01N21/47；该发明授权一种用于晶圆表面无损检测的装置及方法是由卢荣胜;陈耕阳;张腾达;谈士涛设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆表面无损检测的装置及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及精密检测技术领域，尤其是一种用于晶圆表面无损检测的装置及方法。本申请提出的装置，包括检测光路、运动控制模块、窄通道探测端、宽通道探测端和数据采集及处理模块；运动控制模块用于承载待测晶圆并调整位置；检测光路包括入射光路、宽通道光路和窄通道光路；入射光路用于投射光束并将光束垂直投射到待测晶圆上；窄通道光路用于收集待测晶圆表面产生的扩散角为[5°,24°]的散射光并聚集到窄通道探测端，宽通道光路用于收集待测晶圆表面产生的扩散角为[25°,70°]的散射光并聚集到宽通道探测端。本申请可快速精确的识别晶圆缺陷。

本发明授权一种用于晶圆表面无损检测的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆表面无损检测的装置，其特征在于，包括检测光路、运动控制模块、窄通道探测端、宽通道探测端和数据采集及处理模块；运动控制模块用于承载待测晶圆并调整位置； 检测光路包括入射光路、宽通道光路和窄通道光路；入射光路用于投射光束并将光束垂直投射到待测晶圆上；窄通道光路用于收集待测晶圆表面产生的扩散角为[5°,24°]的散射光并聚集到窄通道探测端，宽通道光路用于收集待测晶圆表面产生的扩散角为[25°,70°]的散射光并聚集到宽通道探测端；窄通道探测端和宽通道探测端将收集到的光信号转换为电压信号并传递给数据采集及处理模块，以分析晶圆表面状态； 宽通道光路采用椭球反射镜，窄通道光路由设置在椭球反射镜中的第四透镜和反射镜构成；所述反射镜用于将第四透镜收集的散射光投递到窄通道探测端；入射光路包括反射器件，反射器件将入射光垂直投射到椭球反射镜的下焦点；反射器件在水平面上的投影被第四透镜在水平面上的投影覆盖； 反射器件采用柱状反射镜；检测光路的入射光水平入射到柱状反射镜上，然后垂直入射到待测晶圆表面。

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