拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司姚江毅获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司申请的专利键合装置视觉系统、确定待键合件位姿的方法及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119517797B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411613386.3,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权键合装置视觉系统、确定待键合件位姿的方法及存储介质是由姚江毅设计研发完成,并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本键合装置视觉系统、确定待键合件位姿的方法及存储介质在说明书摘要公布了:本发明提供了一种键合装置的视觉系统、一种确定待键合件位姿的方法及一种计算机可读存储介质。所述键合装置的视觉系统包括多个成像模块及视场调节机构。所述多个成像模块用于采集待键合件上多个标记的图像,以表征所述待键合件的位置和或姿态。所述视场调节机构用于旋转至少一个所述成像模块,调节其视场位置,以覆盖所述待键合件上所述多个标记。本发明可以通过对多个成像模块的视场位置进行旋转调节,用于对多种尺寸的待键合件上多个标记的图像进行采集,以提升晶圆键合工艺的键合效率。
本发明授权键合装置视觉系统、确定待键合件位姿的方法及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种键合装置的视觉系统,其特征在于,包括: 多个成像模块,用于采集待键合件上多个标记的图像,以表征所述待键合件的位置和或姿态; 视场调节机构,用于旋转至少一个所述成像模块,调节其视场位置,以覆盖所述待键合件上所述多个标记;以及 控制器,其被配置为:获取所述多个标记之间的间距信息,以判断一个所述成像模块的视场是否能够同时覆盖所述多个标记;响应于一个所述成像模块的视场能够同时覆盖所述多个标记的判断结果,获取所述多个标记的粗位置信息,以及第一成像模块的第一位姿信息,以确定所述第一成像模块的第一旋转角度和第一旋转路径范围;获取第二成像模块当前的第二位姿信息,并结合所述第一旋转路径范围,以判断所述第二成像模块是否影响所述第一成像模块的旋转;响应于所述第二成像模块影响所述第一成像模块旋转的判断结果,根据所述第二位姿信息及所述第一旋转路径范围,确定所述第二成像模块的第二旋转角度,并经由所述视场调节机构旋转所述第二成像模块,以避免影响所述第一成像模块的旋转;以及响应于一个所述成像模块的视场不能同时覆盖所述多个标记的判断结果,经由所述视场调节机构旋转多个所述成像模块来相互配合地采集所述多个标记的图像,以表征所述待键合件的位置和或姿态。
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