中国科学技术大学安航获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利单晶钛酸锶衬底的再生方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119507034B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311059888.1，技术领域涉及：C30B25/18；该发明授权单晶钛酸锶衬底的再生方法是由安航;吕頔设计研发完成，并于2023-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本单晶钛酸锶衬底的再生方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种单晶钛酸锶衬底的再生方法，包括：先在单晶钛酸锶衬底上沉积铝酸锶薄膜后，再进行钙钛矿型薄膜的外延；将外延完成后的样品置于水中溶解铝酸锶薄膜，并转移钙钛矿型薄膜，得到钛酸锶衬底；清洗钛酸锶衬底后，用氟化铵‑氢氟酸缓冲液进行刻蚀处理，再进行退火处理以再生单晶钛酸锶衬底。本公开提供的再生方法可以获得单一钛氧终止面的单晶钛酸锶衬底，并能实现单晶钛酸锶衬底的重复利用。
本发明授权单晶钛酸锶衬底的再生方法在权利要求书中公布了：1.一种单晶钛酸锶衬底的再生方法，包括： 先在单晶钛酸锶衬底上沉积铝酸锶薄膜后，再进行钙钛矿型薄膜的外延； 将外延完成后的样品置于水中溶解所述铝酸锶薄膜，并转移所述钙钛矿型薄膜，得到钛酸锶衬底； 清洗所述钛酸锶衬底后，用氟化铵-氢氟酸缓冲液进行刻蚀处理，处理时间为48～55秒，将所述刻蚀处理后的钛酸锶衬底用去离子水清洗后，用氮气吹干，再进行退火处理以再生所述单晶钛酸锶； 其中，所述氟化铵-氢氟酸缓冲液由氟化铵和氢氟酸以摩尔比例为7:1混合配置而成；所述退火处理在氧气压力为10-5Torr条件下进行，温度为950-1100℃，处理时间不低于30min，以得到具有原子级台阶结构的单晶钛酸锶衬底。
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