浙江创芯集成电路有限公司余先勇获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利光罩吸具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119495621B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311020942.1，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权光罩吸具是由余先勇;李超;周国栋;杨佳斐;陈阳;张勇设计研发完成，并于2023-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩吸具在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供一种光罩吸具，包括吸附组件和控制组件，其中：所述控制组件，与所述吸附组件耦接，适于响应于吸附控制信号，抽吸所述吸附组件中的气体，形成负压环境；所述吸附组件，适于在负压环境下，吸附光罩。采用上述光罩吸具，能够提高光罩的取出效率，且能避免损伤光罩或其他零部件。
本发明授权光罩吸具在权利要求书中公布了：1.一种光罩吸具，其特征在于，包括：吸附组件和控制组件，设置于所述控制组件和吸附组件之间的延长杆，所述延长杆内部形成有腔体，所述延长杆上设置有连接孔，所述连接孔靠近所述延长杆的第一端；其中： 所述控制组件，与所述吸附组件耦接，适于响应于吸附控制信号，抽吸所述吸附组件中的气体，形成负压环境；所述控制组件包括：真空管路，穿设于所述延长杆中的腔体，其第二端与所述吸附组件连接； 所述吸附组件，适于在负压环境下，吸附光罩；其中，所述吸附组件包括第一支架和吸附部，所述第一支架，具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面与所述延长杆的第一端连接，所述第二表面与所述吸附部连接；所述吸附部，通过所述连接孔与所述控制组件的真空管路连接，形成抽吸通道； 其中，所述所述吸附部包括：第二支架，吸附件和连接件，其中：所述第二支架，具有相对的第三表面和第四表面，所述第三表面与所述第一支架的第二表面连接；所述吸附件，与所述第二支架固定连接，包括吸附面，所述吸附面上设置有吸附孔；所述连接件，设置于所述吸附件上，且具有中空结构，以贯通所述吸附孔与所述真空管路。
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