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山东大学刘齐鲁获国家专利权

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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种均匀畴结构的铁电晶体、周期极化方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119465409B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411611463.1,技术领域涉及:C30B30/02;该发明授权一种均匀畴结构的铁电晶体、周期极化方法及应用是由刘齐鲁;桑元华;王东周;张龙喜;宋于坤;秦怀泽;王孚雷设计研发完成,并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种均匀畴结构的铁电晶体、周期极化方法及应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种均匀畴结构的铁电晶体、周期极化方法及应用,涉及非线性光学晶体材料技术与激光技术领域。该方法包括:在铁电晶体材料的正面蒸镀一层均匀的金属电极,在所述的铁电晶体材料的负面蒸镀一层均匀的透明电极;在蒸镀电极的铁电晶体材料表面上旋涂光刻胶,再依次经过光刻、显影、烘烤、腐蚀及去除光刻胶,得到携带金属电极图案的铁电晶体材料;通过反向电压或电子束聚焦法对携带金属电极图案的铁电晶体材料的极化反方向进行激发,构建畴核位点;通过外加电场对所得铁电晶体材料进行周期极化。本发明可快速制备出高质量大通光尺寸周期极化铁电晶体材料,周期极化铁电晶体口径的增加可以拓宽周期极化铁电晶体材料的应用场景和领域。

本发明授权一种均匀畴结构的铁电晶体、周期极化方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种均匀畴结构的铁电晶体的周期极化方法,其特征在于,依次包括以下步骤: S1、选取厚度为0.1μm~10mm的铁电晶体材料,在所述的铁电晶体材料的正面蒸镀一层均匀的金属电极,在所述的铁电晶体材料的负面蒸镀一层均匀的透明电极; S2、在蒸镀电极的铁电晶体材料表面上旋涂光刻胶; 在旋涂光刻胶的铁电晶体材料表面依次经过光刻、显影、烘烤、腐蚀及去除光刻胶,得到携带金属电极图案的铁电晶体材料; S3、通过反向电压或电子束聚焦法对携带金属电极图案的铁电晶体材料的极化反方向进行激发,构建畴核位点,并用于极化活化过程; S4、通过外加电场对步骤S3所得铁电晶体材料进行周期极化,并去除所得铁电晶体材料两面的电极,即得均匀畴结构的铁电晶体; 步骤S1中,所述的铁电晶体材料为铌酸锂、钽酸锂、磷酸钛氧钾、磷酸钛氧铷或砷酸钛氧钾,或为铌酸锂、钽酸锂、磷酸钛氧钾、磷酸钛氧铷或砷酸钛氧钾的薄膜体; 步骤S1中,所述的金属电极为铝电极,所述的透明电极为氧化铟锡电极; 步骤S2中,光刻时在温度为50~70℃烘烤10~30min,显影时在温度为50~70℃烘烤20~40min;腐蚀过程中采用磷酸,通过磷酸腐蚀除去未被光刻胶覆盖的金属电极,通过丙酮去除光刻胶。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人山东大学,其通讯地址为:250100 山东省济南市历城区山大南路27号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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