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龙图腾网获悉深圳泰德半导体装备有限公司申请的专利等离子清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119349133B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411460834.0，技术领域涉及：B65G35/00；该发明授权等离子清洗设备是由罗君;叶贤斌;李文强;杨建新;朱霆;杨勇;周学慧设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种等离子清洗设备，涉及等离子技术领域，该等离子清洗设备包括底座、循环上料装置、自动化装卸装置以及过渡输送装置，循环上料装置包括滑动设于底座的上料架和活动设于上料架的托板，托板设有盛装料片的料盒，循环上料装置可以循环上料配合自动化装卸装置中的推上料机构将料片推送至传送带，再有传送带配合推下料机构将料片推送至过渡输送装置中的承载板，承载板带动料片进入清洗装置的清洗腔进行清洗；本发明提供的技术方案中，在提高上料效率的同时兼具了自动化高效下料以使得上下料速率可以与清洗装置的清洗速率相匹配，从而提高设备整体的工作效率。

本发明授权等离子清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子清洗设备，其特征在于，包括： 底座，所述底座设有两个平行且间隔设置的第一滑轨和平行所述第一滑轨设置的传送带，所述传送带背向所述第一滑轨的一端设有清洗装置，所述清洗装置设有清洗腔； 循环上料装置，所述循环上料装置包括两个上料架和两个托板，每一所述上料架滑动设于一所述第一滑轨，所述上料架设有沿垂直所述底座的方向延伸的第一导轨，每一所述托板滑动设于一所述第一导轨，所述托板设有用以盛装料片的料盒； 自动化装卸装置，所述自动化装卸装置的装载组件和卸载组件，所述装载组件包括第一轨道、第一横梁以及推上料机构，所述第一轨道设于所述底座并沿传送带的延伸方向设置，所述第一横梁滑动设于所述第一轨道，所述第一横梁设有朝向所述底座的第一驱动机构，所述推上料机构设于所述第一驱动机构的驱动端，所述卸载组件包括第二轨道、第二横梁以及推下料机构，所述第二轨道设于所述底座并与所述第一轨道平行设置，所述第二横梁滑动设于所述第二轨道，所述第二横梁设有朝向所述底座的第二驱动机构，所述推下料机构设于所述第二驱动机构的驱动端；以及 过渡输送装置，所述过渡输送装置包括活动设于所述底座的承载板，所述承载板设有用以容纳所述料片的容槽，所述承载板设于所述传送带远离所述循环上料装置的一端，所述承载板能够在所述传送带与所述清洗腔之间轮转； 所述底座设有基台，所述传送带设于所述基台，所述基台设有压料机构，所述压料机构包括： 压料驱动件，所述压料驱动件设于所述基台，所述压料驱动件的驱动端设有传动板，所述传动板沿所述传送带的延伸方向设置；和 两个翘板，两所述翘板转动连接于所述基台并分设于所述压料驱动件沿所述传送带方向的两侧，所述翘板具有连接端和自由端，所述连接端与所述传动板连接，所述自由端设有压轮，所述压轮能够靠近或远离所述传送带； 所述压料机构还包括微调螺栓，所述自由端设有朝向所述基台的通孔，所述微调螺栓螺接于所述通孔并能够自所述通孔伸出与所述基台相抵接； 所述底座设有纵向调节机构，所述纵向调节机构包括： 纵向调节驱动件，所述纵向调节驱动件设于所述底座，所述纵向调节驱动件的驱动端设有沿所述料盒和所述清洗装置的连线方向延伸的第五丝杆，所述第五丝杆设有滑动座，多个所述传送带均设于所述滑动座；和 位移检测机构，所述位移检测机构包括设于所述底座的检测端和设于所述滑动座的感应端，所述检测端与所述纵向调节驱动件电连接。

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