浙江奥首材料科技有限公司褚雨露获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江奥首材料科技有限公司申请的专利一种等离子切割保护材料、其制备方法与应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117777802B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311586988.X，技术领域涉及：C09D133/12；该发明授权一种等离子切割保护材料、其制备方法与应用是由褚雨露;侯军;张楠;马超男设计研发完成，并于2023-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子切割保护材料、其制备方法与应用在说明书摘要公布了：本申请公开了一种等离子切割保护材料、其制备方法与应用，以质量份计，包括如下组分：树脂18‑40份，增韧剂0.1‑2份，水解助剂0.7‑4份，溶剂50‑100份。本申请的等离子切割保护材料中通过水解助剂对树脂进行部分水解，使得树脂的亲水性增强，提高与溶剂的混溶能力并可以在晶圆表面形成完整的保护膜，以抵抗等离子体的刻蚀；在切割工艺完成后，形成的保护膜具有极强的水溶性，能够被轻易除去，使得清洗工艺简单。
本发明授权一种等离子切割保护材料、其制备方法与应用在权利要求书中公布了：1.一种等离子切割保护材料，其特征在于，以质量份计，切割保护材料包括如下组分： 所述树脂的数均分子量为1000-20000； 所述水解助剂为无机酸；无机酸将所述树脂中的酯键水解为羧酸； 所述树脂选自甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸月桂酯中至少一者的均聚物；或者，所述树脂选自甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸月桂酯中任意两者的共聚物。
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