金华星源五金制品有限公司杨卫星获国家专利权
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龙图腾网获悉金华星源五金制品有限公司申请的专利多弧离子镀膜用弧源机构及其冷却方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117604464B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311665696.5，技术领域涉及：C23C14/32；该发明授权多弧离子镀膜用弧源机构及其冷却方法是由杨卫星;钟赟华设计研发完成，并于2023-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本多弧离子镀膜用弧源机构及其冷却方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种多弧离子镀膜用弧源机构及其冷却方法,通过集水储存、喷淋循环、快速电冷却以及水冷风冷复合散热的方式,实现了对弧源的高效智能冷却。该弧源机构包含弧源组件、集水机构、循环喷淋机构、冷却机构、散热机构、水冷机构及温控机构。集水机构对冷却水进行储存,隔温板实现保温隔热。循环喷淋机构利用泵和喷头实现冷却水的循环喷淋,增强对靶材的吸热效果。冷却机构中设置具有快速吸收和释放大量热量功能的制冷芯片,对储水进行降温处理。水冷机构利用外部水冷辅助散热。温控机构监测水温并控制各机构的工作。该弧源机构中各单元模块配合工作,形成闭路循环,可快速吸收靶材的热量,对冷却水进行降温,确保弧源高效、稳定的冷却支持。
本发明授权多弧离子镀膜用弧源机构及其冷却方法在权利要求书中公布了：1.一种多弧离子镀膜用弧源机构,其特征在于,包括:弧源组件和集水机构,所述弧源组件包括弧源法兰、靶座和靶材屏蔽罩;所述集水机构安装于所述弧源法兰的内侧壁,所述集水机构的一侧安装有循环喷淋机构,所述集水机构的内侧壁底部安装有隔温板,所述集水机构的内侧壁顶部安装有冷却机构,所述集水机构的顶部均匀安装有散热机构,所述集水机构的外侧壁顶部安装有水冷机构,所述弧源法兰的上方设有温控机构； 所述集水机构包括集水罩、水冷腔、储水腔和喷淋腔;所述隔温板设于所述储水腔和喷淋腔之间,所述隔温板的外侧壁与所述集水罩的内侧壁固定连接； 所述循环喷淋机构包括循环泵、抽水管、承压盘、若干雾化喷头和导热板;所述循环泵的进水口连通有抽水管,所述抽水管的一端连通于所述喷淋腔的内部,所述循环泵的排水口连通于所述储水腔的内部,若干所述雾化喷头均连通于所述承压盘的底部,所述导热板固定连接于所述集水机构的内侧壁底部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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