贵州大学;成都工具研究所有限公司杜昊获国家专利权
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龙图腾网获悉贵州大学;成都工具研究所有限公司申请的专利一种四元合金掺杂类金刚石薄膜及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117403198B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311335265.2，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种四元合金掺杂类金刚石薄膜及其制备方法是由杜昊;阮一鸣;施杰;陈云;胡恒宁;谢明强设计研发完成，并于2023-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种四元合金掺杂类金刚石薄膜及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种四元合金掺杂类金刚石薄膜及其制备方法，属于高熵碳化物薄膜技术领域，该薄膜以HfMoNbZr四元合金靶经高功率脉冲磁控溅射和碳靶经直流磁控溅射以硅片作为基体共同沉积获得，薄膜中各元素原子百分比含量为Hf3.55~9.46%、Mo3.70~12.08%、Nb3.19~11.63%、Zr3.12~11.66%和C55.17~86.44%。该薄膜具有面心立方结构FCC，并且断口形貌表现为致密结构。本发明试错成本低，工艺简单，可用于大批量生产，并且可有效提高薄膜的硬度，制备而成的薄膜适用于模具表面保护层，延长工件使用寿命。
本发明授权一种四元合金掺杂类金刚石薄膜及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种四元合金掺杂类金刚石薄膜，其特征在于：该薄膜以HfMoNbZr四元合金靶经高功率脉冲磁控溅射和碳靶经直流磁控溅射以硅片作为基体共同沉积获得，薄膜中各元素原子百分比含量为Hf3.55~9.46%、Mo3.70~12.08%、Nb3.19~11.63%、Zr3.12~11.66%和C55.17~86.44%；所述薄膜具有面心立方结构FCC且断口形貌表现为致密结构。
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