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安徽光智科技有限公司戴辉获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117026178B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311070863.1,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法是由戴辉;王星星;刘克武;尹士平;王俊设计研发完成,并于2023-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法在说明书摘要公布了:一种改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法包括步骤:S1,将硫化锌球罩的镀覆导电环膜层的部位抛光粗化处理;S2,将粗化处理的硫化锌球罩擦拭干净;S3,将硫化锌球罩固定于球罩固定工装上,露出硫化锌球罩的粗化且擦拭干净的部位;S4,将硫化锌球罩加热至150‑180℃之后恒温保温10‑30min;S5,真空溅射镀膜机对内部抽真空至1.5×10‑3‑3Pa以下,溅射镀膜,先使用镍铬合金靶在粗化且擦拭干净的部位上溅射第一层镍铬合金,之后使用铜靶在第一层镍铬合金上溅射第一层铜,镍铬合金靶和铜靶交替溅射至少两组以上来形成厚度5‑15μm的导电环膜层,其中,镍铬合金靶的材质为铬镍质量比为2:8;S6,梯度降温至规定温度,之后出球罩固定工装,拆下形成导电环膜层的硫化锌球罩。

本发明授权改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法在权利要求书中公布了:1.一种改善硫化锌球罩导电环膜层附着力的方法,其特征在于,包括步骤: S1,将硫化锌球罩的镀覆导电环膜层的部位抛光粗化处理; S2,将粗化处理的硫化锌球罩经超声波清洗或手工擦拭干净; S3,将硫化锌球罩固定于真空溅射镀膜机100的球罩固定工装1上,以使球罩固定工装1露出硫化锌球罩的粗化且擦拭干净的部位P; S4,将固定在球罩固定工装1中的硫化锌球罩加热至150-180℃之后恒温保温10-30min; S5,真空溅射镀膜机100对内部抽真空至1.5×10-3Pa以下,开始溅射镀膜,先使用镍铬合金靶2在粗化且擦拭干净的部位P上溅射第一层镍铬合金,之后使用铜靶3在第一层镍铬合金上溅射第一层铜,然后使用镍铬合金靶2在第一层铜上溅射第二层镍铬合金,随后使用铜靶3在第二层镍铬合金上溅射第二层铜,镍铬合金靶2和铜靶3交替溅射至少两组以上来形成厚度5-15μm的导电环膜层,其中,镍铬合金靶2的材质为铬镍质量比为2:8,在步骤S5中,导电环膜层由六层构成,第一层镍铬合金的厚度为100-200nm;第二层铜的厚度为200-1000nm;第三层镍铬合金的厚度为1000-2000nm;第四层铜的厚度为2000-4000nm;第五层镍铬合金的厚度为1000-2000nm;第六层铜的厚度为2000-4000nm; S6,步骤S5的溅射镀膜结束后,硫化锌球罩的温度梯度降温至规定温度,之后从真空溅射镀膜机100中取出球罩固定工装1,从球罩固定工装1上拆下形成导电环膜层的硫化锌球罩,其中,在步骤S6中,硫化锌球罩的温度梯度降温至规定温度为:从硫化锌球罩恒温保温的温度每下降20℃恒温5min,直到温度降温到60℃。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽光智科技有限公司,其通讯地址为:239004 安徽省滁州市琅琊经济开发区南京路100号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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