苏州众为光电有限公司李昱获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州众为光电有限公司申请的专利一种镀膜设备的直接光控系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116676582B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310630840.5，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种镀膜设备的直接光控系统及方法是由李昱;苏炎;陈居凯设计研发完成，并于2023-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜设备的直接光控系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种镀膜设备的直接光控系统及方法，该系统的激光光控光路包括可调谐激光光源、第一探测器，白光光控光路包括白光光源、第二探测器，第一二色向镜将可调谐激光光源发射的激光信号和白光光源发射的可见光信号进行合光处理，第二二色向镜将经过产品的光信号进行分光处理，通过第一探测器获得对应的激光波长的透过率，通过第二探测器获得对应的可见光波长的透过率，工控机监控激光光控和白光光控对产品的透过率变化趋势，计算获得膜层的光学厚度。本发明将白光的光控与激光的光控结合，减少设备切换白光和激光光控的时间，能同时监控白光和激光光控的信号，通过对不同的光控走值信号采用不同的光控进行控制，能够获得精度更高的膜层。
本发明授权一种镀膜设备的直接光控系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种镀膜设备的直接光控系统，其特征在于：包括激光光控光路、白光光控光路、第一二色向镜、第二二色向镜、工控机，所述激光光控光路包括可调谐激光光源、第一探测器，所述白光光控光路包括白光光源、第二探测器，所述第一二色向镜用于将所述可调谐激光光源发射的激光信号和所述白光光源发射的可见光信号进行合光处理，激光信号与可见光信号经合光处理后入射产品，所述第二二色向镜用于将经过产品的光信号进行激光信号和可见光信号的分光处理，所述第一探测器接收分光处理后的激光信号，获得对应的激光波长的透过率，所述第二探测器接收分光处理后的可见光信号，获得对应的可见光波长的透过率，所述工控机通过读取所述第一探测器和所述第二探测器的信号，监控激光光控和白光光控对产品的透过率变化趋势，计算获得膜层的光学厚度。
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