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龙图腾网获悉海光集成电路设计(北京)有限公司申请的专利异常测试结构获取方法、验证方法及相关装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116646281B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310658041.9，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权异常测试结构获取方法、验证方法及相关装置是由张琪麟;詹扬扬;王伟设计研发完成，并于2023-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本异常测试结构获取方法、验证方法及相关装置在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种异常测试结构获取方法、验证方法及相关装置，其中，异常测试结构获取方法包括获取测试数据集；获取驱动电流不满足对应的驱动电流阈值，或漏电流不满足对应的漏电流阈值的单参数异常数据，得到单参数异常测试结构集和单参数正常测试结构集；根据单参数正常测试结构集中的各个单参数正常测试结构的驱动电流和漏电流，构建双参数特征，获取双参数特征阈值；获取双参数特征不满足双参数特征阈值的双参数异常数据，获取双参数异常数据所对应的各个双参数异常测试结构，得到双参数异常测试结构集；根据单参数异常测试结构集和双参数异常测试结构集，得到异常测试结构集。本申请实施例所提供的方法可提高获取异常测试结构的准确性。

本发明授权异常测试结构获取方法、验证方法及相关装置在权利要求书中公布了：1.一种异常测试结构获取方法，其特征在于，包括： 获取测试数据集，所述测试数据集包括特定测试结构集中各个特定测试结构的WAT晶圆可接受性测试的驱动电流和漏电流；其中，不同阈值电压器件的器件驱动电流参数与漏电流参数与晶圆测试良率的性能损失项之间存在相关性； 获取与各个所述特定测试结构的阈值电压所对应的产品规格数据界限，得到各个所述驱动电流阈值和各个所述漏电流阈值； 获取所述驱动电流不满足对应的驱动电流阈值，或所述漏电流不满足对应的漏电流阈值的单参数异常数据，得到单参数异常数据所对应的单参数异常测试结构集和单参数正常测试结构集； 对所述单参数正常数据集中的所述驱动电流进行特征缩放归一化； 根据所述单参数正常测试结构集中的各个单参数正常测试结构的所述驱动电流和所述漏电流，构建双参数特征，获取双参数特征阈值，其中，所述双参数特征阈值包括MCD最小协方差行列式马氏距离阈值； 获取所述双参数特征不满足所述双参数特征阈值的双参数异常数据，并获取所述双参数异常数据所对应的各个双参数异常测试结构，得到双参数异常测试结构集； 根据所述单参数异常测试结构集和所述双参数异常测试结构集，得到异常测试结构集； 其中，所述MCD最小协方差行列式马氏距离阈值通过以下步骤获取：根据所述单参数正常数据集中对应于同一所述特定测试结构的所述驱动电流和所述漏电流，获取协方差矩阵；利用MCD最小协方差行列式算法获取所述单参数正常数据集的子数据集构成的矩阵中协方差行列式最小的矩阵，得到最小协方差行列式矩阵，利用对应于同一所述特定测试结构的所述驱动电流和所述漏电流所构成的数据元素与最小协方差行列式矩阵获取马氏距离异常分数阈值，得到所述MCD最小协方差行列式马氏距离阈值； 所述利用对应于同一所述特定测试结构的所述驱动电流和所述漏电流所构成的数据元素与最小协方差行列式矩阵获取马氏距离异常分数阈值，得到所述MCD最小协方差行列式马氏距离阈值，包括： 获取最小协方差行列式矩阵所对应的h个数据元素的均值估计量和协方差估计量∑i；其中h＝n+p+12，p＝2个元素，n为单参数正常数据集中的数据元素个数； 计算单参数正常数据集的n个数据元素中的每个数据元素与该最小协方差行列式矩阵对应的子数据集的中心的距离； 对n个距离进行从小到大排序，选择距离靠前的h个数据元素构成新的样本合集，循环迭代计算，直到∑n＝∑n-1，记录该dn＝dnlast为马氏距离异常分数阈值； 基于h的改变，得到多个马氏距离异常分数阈值，各个马氏距离异常分数阈值所围城的区域边界作为MCD最小协方差行列式马氏距离阈值； 其中，在使用所述异常测试结构获取方法获取异常测试结构前，还包括异常测试结构获取方法的验证方法，所述异常测试结构获取方法的验证方法包括：通过所述异常测试结构获取方法，获取验证数据集所对应的验证特定测试结构集中的双参数验证异常测试结构集和验证异常测试结构集；根据所述验证特定测试结构集和所述验证异常测试结构集获取验证正常测试结构集；分别获取所述所述双参数验证异常测试结构集和所述验证正常测试结构集所对应的晶圆测试的器件速度相关良率损失项比例和缺陷相关良率损失项比例；当确定所述双参数验证异常测试结构集的器件速度相关良率损失项比例大于所述验证正常测试结构集的器件速度相关良率损失项比例，且所述双参数验证异常测试结构集的缺陷相关良率损失项比例大于所述验证正常测试结构集的缺陷相关良率损失项比例时，确定所述异常测试结构获取方法有效。

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