买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉吴佳敏申请的专利一种光刻胶组合物及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116300311B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310105690.6，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权一种光刻胶组合物及其制备方法是由吴佳敏;叶俊;雷鹏程设计研发完成，并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻胶组合物及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻胶技术领域，具体涉及一种光刻胶组合物及其制备方法；包括原料为对羟基苯乙烯共聚物30～45份、三苯基硫鎓盐2～4份、金属团簇物8～15份、环氧乙烷10～20份、自由基光引发剂2～3份、溶剂30～40份；以对羟基苯乙烯共聚物为主体、三苯基硫鎓盐为光致产酸剂，添加金属团簇物增加对紫外光的吸收，枝状环氧乙烷树脂在酸性条件下，发生开环反应后再彼此连接，形成交联网状结构，降低光刻胶膜的溶解性，添加自由基光引发剂，制备成负性光刻胶组合物，对深紫外光具有较强的吸收能力，提高了光刻胶的灵敏度和抗刻蚀性能，光刻胶的最小分辨尺寸小，光照区域形成网状结构，不易被洗脱，负性光刻胶整体性能得到提高。

本发明授权一种光刻胶组合物及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶组合物，其特征在于，包括以下质量份数的原料： 所述金属团簇物为以金属Sn、Zn、Zr、Sb、Ti中的一种为核心，以甲基丙烯酸、三氟乙酸、4-甲基吡唑、2-三氟甲基丙烯酸、含芳环有机羧酸中的一种或几种为配体构成的金属团簇物，金属核心数为4个、6个或8个； 所述环氧乙烷为枝状环氧乙烷树脂，为： 中的一种或几种； 所述自由基光引发剂为2-羟基-2-甲基-1-苯基丙酮、1-羟基环己基苯基甲酮、异丙基噻吨酮按照质量比为1：3～5：2混合而成； 所述光刻胶组合物的制备方法，包括以下步骤： 步骤一：避光条件下，取二分之一质量份数的溶剂放置于反应容器中，用氮气排空气体，后持续通入氮气，加入质量份数的金属团簇物，搅拌混合均匀，加入质量份数的三苯基硫鎓盐，继续搅拌混合均匀，得到混合物A； 步骤二：避光条件下，取剩余质量份数的溶剂放置于反应容器中，用氮气排空气体，后持续通入氮气，加入质量份数的对羟基苯乙烯共聚物、环氧乙烷和自由基光引发剂，搅拌混合均匀，得到混合物B； 步骤三：避光条件下，将步骤一得到的混合物A、步骤二得到的混合物B混合，磁力搅拌3～12h，得到光刻胶组合物。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人吴佳敏，其通讯地址为：214400 江苏省无锡市江阴市澄江东路9号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。