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龙图腾网获悉晟耀光电科技股份有限公司申请的专利晶圆多向翻转检测机台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116183612B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310136486.0，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权晶圆多向翻转检测机台是由李芳媛;陈春辰设计研发完成，并于2023-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆多向翻转检测机台在说明书摘要公布了：本发明是一种晶圆多向翻转检测机台，包括一机台本体、一多向翻转汲取装置及一控制装置，机台本体具有一置料区及一翻转检测区，多向翻转汲取装置是对应置料区及翻转检测区设置在机台本体内，并供汲取晶舟放置的晶圆并移载至翻转检测区以进行多向翻转，以及供移载检测完的晶圆至晶舟内，控制装置是信号连接至多向翻转汲取装置，并供控制多向翻转汲取装置翻转及旋转晶圆的方向及角度。

本发明授权晶圆多向翻转检测机台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆多向翻转检测机台，其特征在于，包括： 一机台本体，具有一置料区与一翻转检测区，所述置料区是供晶舟设置，所述翻转检测区是供检测所述晶圆的区域位置； 一多向翻转汲取装置，是对应所述置料区及所述翻转检测区设置在所述机台本体内，且可往返于所述置料区与所述翻转检测区之间，并供汲取放置在所述晶舟内的所述晶圆并移载至所述翻转检测区以进行多向翻转及旋转，以及供将检测完的所述晶圆移载回所述晶舟内，所述多向翻转汲取装置包括： 一移载臂，是朝所述晶舟汲取放置各所述晶圆；及 一翻转臂，是供承载由所述移载臂移载的所述晶圆，并升高承载的所述晶圆至一预定高度，以对所述晶圆进行多向翻转及旋转以进行所述晶圆的外观检测；以及 一控制装置，是信号连接至所述多向翻转汲取装置，并用于控制所述多向翻转汲取装置翻转及旋转所述晶圆的方向及角度，所述控制装置包括： 一输入界面单元，是供输入检测后的各所述晶圆的一状态资讯；及 一储存单元，是与所述输入界面单元信号连接，用于储存所述输入界面单元输入的各所述状态资讯，并储存一状态对应列表，所述状态对应列表具有所述晶圆放置在所述晶舟内的多个旋转角度资讯，所述旋转角度资讯分别对应各所述状态资讯； 其中，所述控制装置被配置为依据所述状态对应列表及所述储存单元储存的各所述晶圆的所述状态资讯，在将检测完成的所述晶圆由所述翻转臂移载回所述晶舟内时，控制所述翻转臂调整所述晶圆放置在所述晶舟内的旋转角度，使放置在所述晶舟内的各所述晶圆的旋转角度分别对应其状态资讯； 各所述晶圆之外周具有可供方向辩识的剖开段，所述控制装置利用所述剖开段的角度作为基准决定所述晶圆放置在所述晶舟内的旋转角度；并且 所述晶圆多向翻转检测机台还包括一晶圆放置状态分析装置，是供分析放置在所述晶舟内的所述晶圆的放置状态，所述晶圆放置状态分析装置包括： 一雷射感应单元，是对应所述置料区朝向所述晶舟设置，并供光感应分析所述晶圆的放置状态；及 一垂直驱动单元，是供驱动所述晶舟朝垂直方向往返移动，令放置在所述晶舟内的每一所述晶圆分别受所述雷射感应单元光感应分析放置状态。

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