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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种承片台高低温换热装置及射频芯片测试系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115938994B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211731825.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种承片台高低温换热装置及射频芯片测试系统是由艾博;高岳;薛书亮;林晨;裴兵全设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种承片台高低温换热装置及射频芯片测试系统在说明书摘要公布了：本申请涉及射频芯片测试技术领域，具体而言，涉及一种承片台高低温换热装置及射频芯片测试系统。本发明提供的承片台高低温换热装置，包括：承片台，所述承片台包括制冷腔，所述制冷腔中均布有加热管；所述承片台上设置有用于向所述制冷腔通入制冷工质的出入口，所述加热管上设置有用于通入加热工质的出入管口；所述加热管在所述制冷腔中蜿蜒排布。能够解决承片台在‑70℃～300℃范围的加热、制冷问题，通过采用双导热工质的通入快速满足测试温度在两种工质重叠温度区间内的换热需求；以及分别单独通入工质的形式，满足低温或者高温的制冷及加热需求，实现大温宽范围的降温及升温。

本发明授权一种承片台高低温换热装置及射频芯片测试系统在权利要求书中公布了：1.一种承片台高低温换热装置，其特征在于，包括：承片台，所述承片台包括制冷腔，所述制冷腔中均布有加热管； 所述承片台上设置有用于向所述制冷腔通入制冷工质的出入口，所述加热管上设置有用于通入加热工质的出入管口； 所述加热管在所述制冷腔中蜿蜒排布； 所述承片台能够同时通入加热工质油及制冷工质油； 所述承片台连接有加热系统及制冷系统，所述承片台与所述加热系统之间连接有加热工质进口管及加热工质出口管，所述制冷系统与所述承片台之间连接有制冷工质进口管及制冷工质出口管； 所述加热工质进口管与所述加热管入口之间连接有加热工质三通阀，所述加热工质三通阀的旁路连接有加热工质抽出管； 所述制冷工质进口管与所述制冷腔入口之间连接有制冷工质三通阀，所述制冷工质三通阀的旁路连接有制冷工质抽出管； 所述出入口包括制冷腔入口及制冷腔出口，所述出入管口包括加热管入口及加热管出口，所述制冷腔入口及所述制冷腔出口设置在所述承片台的同一径向上，所述加热管入口及所述加热管出口设置在所述承片台的同一径向上； 所述加热工质抽出管与所述制冷工质抽出管分别连接有加热工质储存罐与制冷工质储存罐，所述加热工质储存罐与所述制冷工质储存罐分别连接有真空泵； 所述加热系统包括加热控制器，所述制冷系统包括制冷控制器； 所述加热控制器与所述加热工质三通阀及真空泵电连接； 所述制冷控制器与所述制冷工质三通阀及真空泵电连接。

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