买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种底部照明模块调节装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115789590B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211622874.1，技术领域涉及：F21V21/14；该发明授权一种底部照明模块调节装置是由侯得锋;郑艳芳;赵宏宇;毕天伟设计研发完成，并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种底部照明模块调节装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体生产技术领域，具体而言，涉及一种底部照明模块调节装置，包括连接机构、水平向调节机构、Z向调节机构和定位机构；水平向调节机构设置于底部照明模块的底部且用于调整X、Y及Rz；Z向调节机构设置于水平向调节机构的底部且用于调整Z、Rx和Ry；连接机构与基础框架相连接，连接机构用于底部照明模块的六自由度调整并锁定后，建立基础框架与水平向调节机构的连接、以及基础框架与底部照明模块的连接；定位机构设置于底部照明模块的底部，且设置于水平向调节机构上，定位机构和支撑凸台承载底部照明模块的总重。该装置能够用于装配和调节底部照明模块，以及方便底部照明模块移入移出进行定期维护和维修，提高复位精度。

本发明授权一种底部照明模块调节装置在权利要求书中公布了：1.一种底部照明模块调节装置，用于安装在基础框架5和底部照明模块6之间，其特征在于，包括连接机构1、水平向调节机构2、Z向调节机构3和定位机构4； 所述水平向调节机构2设置于所述底部照明模块6的底部，且用于调整并锁定调整后的所述底部照明模块6的X向的位置、Y向的位置以及Rz，其中，Rz为围绕Z轴的转动方向； 所述Z向调节机构3设置于所述水平向调节机构2的底部，且用于调整并锁定所述底部照明模块6的Z向的位置以及Rx和Ry，其中，Rx为围绕X轴的转动方向，Ry为围绕Y轴的转动方向； 所述连接机构1与所述基础框架5相连接，所述底部照明模块6的六自由度调整并锁定后，所述基础框架5通过所述连接机构1与所述水平向调节机构2、所述底部照明模块6连接； 所述定位机构4包括至少两个定位件，所述定位件设置于所述底部照明模块6的底部，所述水平向调节机构2上设置至少两个与所述定位件相对应的固定点位，所述定位件一一对应安装于所述固定点位，用于所述底部照明模块6与所述水平向调节机构2之间的定位； 其中，所述水平向调节机构2包括调平托盘21、质量平衡组件22、移动托盘23、X向调节组件和Y向调节组件；所述Z向调节机构3包括至少三个均匀设置于所述调平托盘21底部的Z向调节组件，所述调平托盘21的底部开设至少三个竖直的安装孔，所述安装孔与所述Z向调节组件一一对应设置，所述Z向调节组件安装于所述安装孔；所述Z向调节组件包括支撑螺柱31、锁紧螺母32、等高螺栓33、蝶形弹簧34和底座35。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。