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厦门普诚科技有限公司冯庆雄获国家专利权

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龙图腾网获悉厦门普诚科技有限公司申请的专利一种晶圆存取库获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115692281B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211273273.4,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种晶圆存取库是由冯庆雄;王志峰;杨大鹏;薛联金设计研发完成,并于2022-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆存取库在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆存取库,包括:存取库,所述存取库对即将入库的晶圆进行存放,所述存取库包括存取架和移载机,所述存取架对晶圆进行存放,所述移载机把位于存取架的晶圆进行存放和拿取;输送线,所述输送线对晶圆输送;存片机,所述存片机把晶圆转运至输送线;取片机,所述取片机把来自输送线上的晶圆进行取出。本发明的有益效果是:通过将装有晶圆的卡塞放置到存片机中,并通过将存片机中装有晶圆的卡塞输送至移载机的输入端,并通过移载机将装有晶圆的卡塞存放至存取架上,当进行使用时候,通过移载机将存取架上的装有晶圆的卡塞移送至输送线,再通过取片机将晶圆取出至下一工序。

本发明授权一种晶圆存取库在权利要求书中公布了:1.一种晶圆存取库,其特征在于,包括: 存取库3,所述存取库3对即将入库的晶圆进行存放,所述存取库3包括存取架31和移载机32,所述存取架31对晶圆进行存放,所述移载机32把位于存取架31的晶圆进行存放和拿取; 输送线4,所述输送线4对晶圆输送; 存片机1,所述存片机1把晶圆转运至输送线4; 取片机2,所述取片机2把来自输送线4上的晶圆进行取出; 其中,所述输送线4位于并列设置的存片机1、取片机2与存取库3之间,将晶圆转运至存片机1中,通过移载机32将存片机1转运至输送线4的晶圆放置到存取架31上,当需要取片时,通过移载机32将晶圆取出并转运至输送线4,取片机2将位于输送线4的晶圆进行搬运取出; 所述存片机1包括用于安装的第一机架11,所述第一机架11上安装有上料转盘机构12,所述上料转盘机构12包括固定安装在第一机架11上的第一固定架121,所述第一固定架121上安装有第一DD马达122,所述第一DD马达122动力输出端安装有第一转盘124,所述第一转盘124上设置有若干个关于第一转盘124轴线均匀间隔分布的第一治具125,每个所述第一治具125上设置至少一个第一卡塞126,所述第一转盘124的入料端的下方设置检测器123;所述第一机架11上还设置有搬运机构6和读码器14,所述搬运机构6对第一转盘124上的第一卡塞126进行搬运至输送线4上,所述读码器14位于搬运机构6一侧; 所述取片机2包括第二机架21,所述第二机架21上设置有检测转盘机构23,所述检测转盘机构23的一检测位设置第一读码检测机构8,所述检测转盘机构23的输入位设置搬运机构6和第一取片机构7,所述检测转盘机构23的输出位设置有第二取片机构24,所述第二取片机构24一侧设置放置架22,所述第二机架21上还设置有出库缓存机构25,且出库缓存机构25位于搬运机构6的一侧,所述出库缓存机构25包括安装在第二机架21上的第二固定架251,所述第二固定架251底面安装第三伺服电机252,安装在第三伺服电机252动力输出端的载板上设置有至少一个第四治具253,所述第四治具253上设置第五卡塞254,所述第二取片机构24另一侧设置有第四卡塞26,其中所述第一取片机构7把第五卡塞254内的晶圆片转运至检测转盘机构23输入位; 所述检测转盘机构23包括安装在第二机架21上的第一安装板231,所述第一安装板231一侧面固定安装第六伺服电机232,所述第六伺服电机232动力输出端安装有第二转盘233,所述第二转盘233上开设有若干个关于第二转盘233中心均匀间隔设置的放置槽234,所述第一安装板231另一侧面固定设置第三气缸235,所述第三气缸235上的安装架安装有第一读码检测相机236。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人厦门普诚科技有限公司,其通讯地址为:361000 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区翔安西路8077号第一层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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