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龙图腾网获悉总督科技股份有限公司申请的专利预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115621172B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110802085.5，技术领域涉及：H10P72/10；该发明授权预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法是由宋茂炎设计研发完成，并于2021-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明是一种预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法，是在一第一位移机构周侧设有晶圆环卸载机构、晶圆卸载机构、遮盖卸载机构、载盘及机械臂；第一位移机构具有第一座体，载盘上设有复数经由夹具固定的组合件，各组合件分别由晶圆环、晶圆、遮盖依序叠置而成，机械臂的活动端上设有影像攫取组件及装卸机构；机械臂校正装卸机构，以正确对应于载盘上的待卸载的组合件，装卸机构先解锁夹具，再将该待卸载的组合件由载盘移置于第一座体上，然后由遮盖卸载机构、晶圆卸载机构、晶圆环卸载机构依序拆卸回收遮盖、晶圆、晶圆环。

本发明授权预治式晶圆载盘的卸载装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种预治式晶圆载盘的卸载装置，其特征在于，包括： 一载盘，表面设有至少一用以承载一组合件的组合件承载部，该组合件承载部周侧设有复数用以将组合件固定在该组合件承载部内的夹具； 一第一位移机构，连接并受一控制模块驱动，该第一位移机构具有一能往复移动的第一座体，于该第一座体上设有一组合件卸载部； 一机械臂，连接并受驱动于该控制模块，该机械臂具有一能移动于该第一座体与该载盘之间的活动端，于该活动端上设有一能携带及释放该组合件的装卸机构； 一设置于该第一位移机构旁侧的遮盖卸载机构，连接并受驱动于该控制模块，该遮盖卸载机构具有一供回置由该组合件卸下的遮盖的遮盖回置座，于该遮盖回置座旁侧设有一遮盖移置组件，该遮盖移置组件能携带及释放该遮盖，且于该遮盖回置座与该第一座体的组合件卸载部之间进行活动； 一设置于该第一位移机构旁侧的晶圆卸载机构，连接并受驱动于该控制模块，该晶圆卸载机构具有一供回置由该组合件卸下的晶圆的晶圆回置座，于该晶圆回置座旁侧设有一晶圆移置组件，该晶圆移置组件具有一能承托晶圆的晶圆托架，且该晶圆托架能受该晶圆移置组件带动而于该晶圆回置座与该第一座体的组合件卸载部之间进行活动； 一设置于该第一位移机构旁侧的晶圆环卸载机构，连接并受驱动于该控制模块，该晶圆环卸载机构具有一供回置由该组合件卸下的晶圆环的晶圆环回置座，于该晶圆环回置座旁侧设有一晶圆环移置组件，该晶圆环移置组件能携带及释放该晶圆环，且于该晶圆环回置座与该第一座体的组合件卸载部之间进行活动。

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