细美事有限公司张镐镇获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115513091B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210641356.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置是由张镐镇设计研发完成，并于2022-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置。该基板处理装置包括：第一工艺腔室，在该第一工艺腔室中具有第一处理空间；第二工艺腔室，在该第二工艺腔室中具有第二处理空间；和排出单元，该排出单元用于排出第一处理空间和第二处理空间的气氛，其中排出单元包括：集成排出管线；第一排出管线，该第一排出管线连接第一工艺腔室和集成排出管线；第二排出管线，该第二排出管线连接第二工艺腔室和集成排出管线；以及分隔壁，该分隔壁将集成排出管线内的流动路径的部分部段分隔为第一流动路径和第二流动路径，通过第一排出管线排出的流体流过第一流动路径，通过第二排出管线排放的流体流过第二流动路径。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，所述基板处理装置包括： 第一工艺腔室，在所述第一工艺腔室中具有第一处理空间； 第二工艺腔室，在所述第二工艺腔室中具有第二处理空间；以及 排出单元，所述排出单元排出所述第一处理空间和所述第二处理空间的气氛， 其中，所述排出单元包括： 集成排出管线； 第一排出管线，所述第一排出管线连接所述第一工艺腔室和所述集成排出管线； 第二排出管线，所述第二排出管线连接所述第二工艺腔室和所述集成排出管线；以及 分隔壁，所述分隔壁将所述集成排出管线内的流动路径的部分部段分隔为第一流动路径和第二流动路径，通过所述第一排出管线排出的流体流过所述第一流动路径，通过所述第二排出管线排放的流体流过所述第二流动路径； 其中，在所述第一排出管线与所述第二排出管线之间，所述分隔壁的一端与所述集成排出管线的内壁的第一侧壁接触，以及 所述分隔壁的另一端位于所述第一侧壁与面向所述第一侧壁的第二侧壁之间的位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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