富士胶片株式会社石原英幸获国家专利权
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龙图腾网获悉富士胶片株式会社申请的专利感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法、电子器件的制造方法及光掩模的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115362412B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180025303.7，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法、电子器件的制造方法及光掩模的制造方法是由石原英幸;高桥年哉;三好太朗;福崎英治设计研发完成，并于2021-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法、电子器件的制造方法及光掩模的制造方法在说明书摘要公布了：根据本发明，提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、使用上述组合物的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法、电子器件的制造方法、光掩模制造用感光化射线性或感放射线性树脂组合物及光掩模的制造方法，所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其含有通过酸的作用在显影液中的溶解性发生变化的树脂、具有通过酸的作用进行分解而极性发生变化的基团的光产酸剂A、产生pKa比由光产酸剂A产生的酸高的酸的光产酸剂B及碱性化合物。
本发明授权感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法、电子器件的制造方法及光掩模的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其含有： 树脂P，其在显影液中的溶解性通过酸的作用而发生变化； 化合物A，其具有通过酸的作用进行分解而极性发生变化的基团a，并且通过光化射线或放射线的照射而产生酸ac1； 化合物B，其通过光化射线或放射线的照射产生pKa比由所述化合物A产生的酸ac1高的酸ac2；及 碱性化合物C， 所述化合物B为由下述通式B-1表示的化合物， 通式B-1中，R51表示任选地具有取代基且任选地包含醚键或羰基键的烷基、任选地具有取代基且任选地包含醚键或羰基键的环烷基、任选地具有取代基的芳基或者任选地具有取代基的杂环基，M+表示锍阳离子或碘鎓阳离子， 所述化合物A由下述通式b3表示， 通式b3中，L表示单键或二价的连接基，当存在多个L时，多个L相同或不同，A表示通过酸的作用进行分解而极性发生变化的基团a，当存在多个A时，多个A相同或不同，o、p及q分别独立地表示0至5的整数，其中，o、p和q的总和为1以上且5以下，M+表示锍离子或碘鎓离子。
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