北京航天微电科技有限公司张倩获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航天微电科技有限公司申请的专利双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115308274B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211029495.1,技术领域涉及:G01N27/22;该发明授权双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备是由张倩;魏家贵设计研发完成,并于2022-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备在说明书摘要公布了:本发明涉及湿度传感器技术领域,尤其涉及一种双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备,双向立体加热型湿度传感器包括基底、下加热电路、感湿层和上加热电路,基底、下加热电路、感湿层和上加热电路依次层叠设置,或者,下加热电路、基底和感湿层和上加热电路依次层叠设置。利用上加热电路和下加热电路能够实现对感湿层的垂直方向直接地、双向的加热,相比传统加热式湿度传感器加热效率翻倍,且加热后的温度与感湿层表面温度一致,极大减小温度误差,进而提高湿度测量精度。
本发明授权双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备在权利要求书中公布了:1.一种双向立体加热型湿度传感器,其特征在于,包括基底、下加热电路、感湿层和上加热电路,所述基底、所述下加热电路、所述感湿层和所述上加热电路依次层叠设置,或者,所述下加热电路、所述基底和所述感湿层和所述上加热电路依次层叠设置; 还包括湿敏电容下电极,所述湿敏电容下电极设置在所述感湿层与所述基底之间; 还包括介质层,所述介质层设置在所述湿敏电容下电极与所述基底之间; 所述介质层覆设在所述下加热电路上; 所述湿敏电容下电极所属的金属层与所述下加热电路所属的金属层为同一金属层,分别进行金属层制备,所述下加热电路设置在所述湿敏电容下电极的下方,两个金属层间制备所述介质层,或者,将所述下加热电路制备在基底背面,将所述基底作为绝缘介质层;或者,所述湿敏电容下电极所属的金属层与所述下加热电路所属的金属层为同一金属层。
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