买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板搬送装置和基板搬送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115223905B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210376413.4，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权基板搬送装置和基板搬送方法是由新藤健弘设计研发完成，并于2022-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板搬送装置和基板搬送方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板搬送装置和基板搬送方法。在基板搬送装置中，设置于基板的搬送区域内的移动用区块具备移动面和能够改变磁场的状态的多个第一磁体，保持基板的基板搬送模块具备第二磁体，该第二磁体受到作用于该第二磁体与所述第一磁体的磁场之间的磁力的作用，所述基板搬送模块构成为能够在从所述移动面浮起的状态下沿所述移动面移动。检测部检测与基板搬送模块的实际的移动路径相对于所述设定路径的偏离的大小对应的指标值，校正参数计算部以使所述偏离的大小减小的方式计算校正参数。在之后的沿着所述设定路径进行的基板的搬送中，搬送控制部进行基于所述校正参数来改变用于使基板搬送模块移动的磁场的状态的校正。

本发明授权基板搬送装置和基板搬送方法在权利要求书中公布了：1.一种基板搬送装置，向用于进行基板的处理的基板处理室搬送基板，所述基板搬送装置具备： 移动用区块，其具备移动面和多个第一磁体，所述多个第一磁体设置于从与外部之间交接所述基板的交接位置起至所述基板处理室内的所述基板的处理位置为止的所述基板的搬送区域内，所述多个第一磁体构成为能够改变磁场的状态； 基板搬送模块，其保持所述基板，所述基板搬送模块具备第二磁体，所述第二磁体受到作用于该第二磁体与所述第一磁体的磁场之间的斥力和引力中的至少一方的磁力的作用，所述基板搬送模块构成为能够在使用所述磁力从所述移动面浮起的状态下沿所述移动面移动； 搬送控制部，其控制通过所述多个第一磁体形成的磁场，以使所述基板搬送模块沿预先设定的设定路径移动； 检测部，其检测与通过所述搬送控制部对所述磁场的控制而沿所述移动面移动的所述基板搬送模块的实际的移动路径相对于所述设定路径的偏离的大小对应的指标值；以及 计算部，其基于所述指标值，以使所述偏离的大小减小的方式计算用于校正作用于所述第二磁体的磁力的校正参数， 其中，在之后的沿着所述设定路径进行的基板的搬送中，所述搬送控制部进行基于所述校正参数来改变所述磁场的状态的校正， 在试移动期间实施所述检测部进行的所述指标值的检测，所述试移动期间是在开始在所述基板处理室中进行基板的处理之前使所述基板搬送模块沿所述设定路径移动的期间， 所述搬送控制部进行基于所述校正参数来改变处理期间的所述磁场的状态的校正，所述处理期间是在所述试移动期间之后在所述基板处理室中进行基板的处理的期间， 所述检测部由用于检测基板搬送模块的加速度的传感器构成，所述指标值是所述基板搬送模块向与沿着所述设定路径的方向交叉的方向移动的加速度的大小， 所述校正参数计算部基于所述加速度计算与沿所述交叉的方向作用于所述基板搬送模块的外力对应的大小的校正力，来作为所述校正参数，所述搬送控制部以使作用于所述第二磁体的磁力相比于获取所述指标值时的该磁力朝向抵消所述偏离的方向增大与所述校正力相应的量的方式进行所述校正。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。