株式会社尼康水野恭志获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社尼康申请的专利曝光装置、平板显示器的制造方法及电子器件制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115023663B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180012073.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光装置、平板显示器的制造方法及电子器件制造方法是由水野恭志;加藤正纪设计研发完成，并于2021-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光装置、平板显示器的制造方法及电子器件制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种光学装置、曝光装置、平板显示器的制造方法及器件制造方法，所述光学装置包括：多个激光光源20；具有光调变器的输出模块30；以及配置于所述多个激光光源与所述输出模块之间，在时间上分割自所述多个激光光源射出的激光的时间分割器50。
本发明授权曝光装置、平板显示器的制造方法及电子器件制造方法在权利要求书中公布了：1.一种曝光装置，在基板上曝光规定图案，其特征在于，包括： 光源； 空间光调变器，基于记述所述规定图案的图案数据对来自所述光源的光进行空间调变； 投影光学系，将进行了空间调变的所述光投影至所述基板；以及 光路切换机，切换自所述光源依次振荡出的所述光的光路，依序引导至设置有多个的所述空间光调变器，且 所述光路切换机包括第1切换机及第2切换机，所述第1切换机将所述光路切换至第一光路与第二光路中的任一者，所述第2切换机将引导至所述第一光路的所述光引导至多个所述空间光调变器中第一群组的空间光调变器、将引导至所述第二光路的所述光引导至多个所述空间光调变器中第二群组的空间光调变器。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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