细美事有限公司金大城获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利脱气装置、基板处理装置和用于将处理溶液脱气的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114171431B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111061658.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权脱气装置、基板处理装置和用于将处理溶液脱气的方法是由金大城设计研发完成，并于2021-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本脱气装置、基板处理装置和用于将处理溶液脱气的方法在说明书摘要公布了：公开了一种脱气装置、基板处理装置和用于将处理溶液脱气的方法。该脱气装置包括：溶解气体抽取喷嘴，该溶解气体抽取喷嘴从包括溶解气体的处理溶液中以气泡的形式抽取所述溶解气体；第一罐，该第一罐从处理溶液中在穿过溶解气体抽取喷嘴的情况下将抽取的所述气泡分离；和第二罐，该第二罐具有稳定化空间，在稳定化空间中，从第一罐储存处理溶液并稳定处理溶液，从该处理溶液中已经分离气泡。溶解气体抽取喷嘴配置为使得出口的直径小于中间通道的直径，以便处理溶液中的溶解气体通过空化现象以气泡的形式被抽取。
本发明授权脱气装置、基板处理装置和用于将处理溶液脱气的方法在权利要求书中公布了：1.一种脱气装置，其安装在处理溶液供应管线上，所述脱气装置包括： 溶解气体抽取喷嘴，所述溶解气体抽取喷嘴配置为从包括溶解气体的处理溶液中以气泡的形式抽取所述溶解气体；和 第一罐，所述第一罐配置为从所述处理溶液中在穿过所述溶解气体抽取喷嘴的情况下将抽取的所述气泡分离， 所述第一罐包括： 第一供应口，所述第一供应口设置在所述第一罐的上端处，并且将所述处理溶液和所述气泡通过所述第一供应口引入； 第一箱体，所述第一箱体具有连接到所述第一供应口的上空间； 第二箱体，所述第二箱体配置成围绕所述第一箱体并具有外空间，在所述外空间中，将从所述上空间引入的所述处理溶液和所述气泡在所述第一箱体和所述第二箱体之间分离；和 第一排出口，所述第一排出口位于所述外空间的上端处，并且将从所述处理溶液中分离的所述气泡通过所述第一排出口从所述外空间排出。
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