苏州盛拓半导体科技有限公司陈庆生获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州盛拓半导体科技有限公司申请的专利一种气浮结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223829814U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520201104.2，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种气浮结构是由陈庆生;高建;宋明翰;马文成设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气浮结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及技术领域，具体涉及一种气浮结构，包括：检测平台，用于吸附晶圆；支撑台，用于支撑检测平台；悬浮组件，固定在支撑台上，悬浮组件包括浮动部和平衡部，多个浮动部分布在支撑台上，当向浮动部通气时，浮动部对检测平台产生悬浮力，使检测平台悬浮在支撑台的上方，多个平衡部位于检测平台的周侧，当向平衡部通气时，平衡部对检测平台产生沿检测平台径向的推力，使检测平台处于相对静止状态，本实用新型中，通过向浮动部和平衡部通气使检测平台悬浮在支撑台上方，并与周侧无接触，实现了非接触式的支撑减少了检测平台与支撑台之间的摩擦和振动，从而显著提高了晶圆检测的精度。
本实用新型一种气浮结构在权利要求书中公布了：1.一种气浮结构，其特征在于，包括： 检测平台1，用于吸附晶圆； 支撑台2，用于支撑所述检测平台1； 悬浮组件3，固定在所述支撑台2上，所述悬浮组件3包括浮动部31和平衡部32，多个所述浮动部31分布在所述支撑台2上，当向所述浮动部31通气时，所述浮动部31对所述检测平台1产生悬浮力，使所述检测平台1悬浮在所述支撑台2的上方，多个所述平衡部32位于所述检测平台1的周侧，当向所述平衡部32通气时，所述平衡部32对所述检测平台1产生沿所述检测平台1径向的推力，使所述检测平台1处于相对静止状态。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州盛拓半导体科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游度假区(太湖新城)五方路899号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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