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上海星纳电子科技有限公司李福荣获国家专利权

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龙图腾网获悉上海星纳电子科技有限公司申请的专利一种晶圆上料检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223829810U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520280617.7,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种晶圆上料检测装置是由李福荣;施钦宇;李昆林;李楷文设计研发完成,并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆上料检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆上料检测装置,包括:定位组件、物料箱、上料组件和检测组件;定位组件包括:升降机构和定位台;定位台设于升降机构的输出端,升降机构用于驱动定位台做垂直移动,定位台用于对物料箱进行定位,物料箱用于放置物料;上料组件包括:旋转机构、上料底座、移动机构和上料插板;上料底座设于旋转机构的输出端,移动机构设于上料底座上,上料插板设于移动机构的输出端,上料插板用于抓取物料箱内的物料,上料插板上设有防护层;检测组件用于对晶圆的厚度进行检测。本实用新型能够实现对晶圆的自动上料,上料插板上的保护层能够有效避免对晶圆造成损坏,提高对晶圆的上料效率。

本实用新型一种晶圆上料检测装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆上料检测装置,其特征在于,包括:定位组件、物料箱、上料组件和检测组件; 所述定位组件包括:升降机构和定位台; 所述定位台设于升降机构的输出端,所述升降机构用于驱动定位台做垂直移动,所述定位台用于对物料箱进行定位,所述物料箱用于放置物料; 所述上料组件包括:旋转机构、上料底座、移动机构和上料插板; 所述上料底座设于旋转机构的输出端,所述移动机构设于上料底座上,所述上料插板设于移动机构的输出端,所述上料插板用于抓取物料箱内的物料,所述上料插板上设有防护层; 所述检测组件用于对晶圆的厚度进行检测。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海星纳电子科技有限公司,其通讯地址为:201612 上海市松江区漕河泾开发区松江高科技园莘砖公路518号24幢701室-1;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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