东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司张之光获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利晶圆升降装置和具有其的电子束检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223829805U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423075128.2，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型晶圆升降装置和具有其的电子束检测设备是由张之光;米涛;董金辉设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆升降装置和具有其的电子束检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体设备领域，特别是涉及一种晶圆升降装置和具有其的电子束检测设备。本实用新型旨在解决现有晶圆升降装置易出现滑动卡顿、升降速度过慢、传输效率低问题。为此，通过使底板顶面向上延伸出的多个导向柱插入基板上对应的导向孔。支点件设置于底板上并设置有与底板的顶面平行间隔的转轴，驱动板中部与转轴转动连接并具有位于基板中心下方的第一端和与第一端相对的第二端，使驱动板在第二端受压时绕转轴转动而由第一端将基板顶升。其中，驱动板是杠杆结构，缩短驱动板的第一端到转轴的距离可加快基板升降速度，提高传片效率，而基板中心位置受向上的压力，受力较为均匀，无侧向力矩，不会发生卡顿。本实用新型解决了上述技术问题。
本实用新型晶圆升降装置和具有其的电子束检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆升降装置，其特征在于，包括： 底板，其顶面向上延伸出多个导向柱； 基板，用于承载所述晶圆，并且所述基板设置有多个与所述导向柱一一对应的导向孔，每个所述导向柱插入对应的所述导向孔，以允许所述基板沿上下方向相对于所述底板移动； 驱动机构，其包括： 支点件，设置于所述底板上，其设置有与所述基板平行间隔的转轴； 驱动板，其中部与所述转轴转动连接，并且具有位于所述基板中心下方的第一端以及与所述第一端相对的第二端，从而允许所述驱动板在所述第二端受压时绕所述转轴转动而由所述第一端将所述基板顶升。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励