芯禾科技(江苏)有限公司秦铭洲获国家专利权
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龙图腾网获悉芯禾科技(江苏)有限公司申请的专利一种用于加热的静电卡盘机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223829804U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423234586.6，技术领域涉及：H10P72/72；该实用新型一种用于加热的静电卡盘机构是由秦铭洲;严彬设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于加热的静电卡盘机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于加热的静电卡盘机构，涉及静电卡盘领域，包括基座，所述基座的顶部固定连接有定位柱，所述基座的顶部固定连接有螺纹杆，所述定位柱的外壁安装有电极盘，所述定位柱的外壁安装有加热盘，所述加热盘的内部安装有电阻发热丝，所述定位柱的外壁安装有吸附盘，所述吸附盘的外壁固定连接有固定板，所述螺纹杆的一端安装有螺帽，通过转动螺帽，可以使螺帽拆卸并解除对吸附盘的限位，向上拉动吸附盘，再使得加热盘沿着定位柱滑动拆卸，此时即可对电阻发热丝进行检修维护，起到便于定期对静电卡盘内的发热元件进行检修维护的效果，通过吸附盘的底部固定连接有碳化硅涂层，可以提升吸附盘的导热性能。
本实用新型一种用于加热的静电卡盘机构在权利要求书中公布了：1.一种用于加热的静电卡盘机构，包括基座1，其特征在于：所述基座1的顶部固定连接有定位柱2，所述基座1的顶部固定连接有螺纹杆3，所述定位柱2的外壁安装有电极盘4，所述定位柱2的外壁安装有加热盘5，所述加热盘5的内部安装有电阻发热丝6，所述定位柱2的外壁安装有吸附盘7，所述吸附盘7的外壁固定连接有固定板8，所述螺纹杆3的一端安装有螺帽9； 所述吸附盘7的底部固定连接有碳化硅涂层10，所述吸附盘7的顶部固定连接有氧化钇涂层11。
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