芯恩(青岛)集成电路有限公司张锡亮获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利清扫装置及半导体生产设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223829788U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520369203.1，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型清扫装置及半导体生产设备是由张锡亮;贠国飞;李双屹;王鹏;宋玉超;吴忠勋设计研发完成，并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本清扫装置及半导体生产设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种清扫装置及半导体生产设备，其中，清扫装置包括清扫机构和净化机构，清扫机构包括进气喷嘴和排气喷嘴，进气喷嘴用于向晶圆存放装置内注入氮气，排气喷嘴用于在晶圆存放装置内注入氮气时将晶圆存放装置内的气体排出晶圆存放装置，净化机构通过第一连通处与进气喷嘴连通，以及通过第二连通处与排气喷嘴连通，在清扫机构停机时，净化机构用于通过第一连通处向进气喷嘴注入时长为预设时间间隔的清扫气体，以及通过第二连通处向排气喷嘴注入时长为预设时间间隔的清扫气体，以将沉积在进气喷嘴和排气喷嘴内的颗粒物清除，进而防止沉积在进气喷嘴和排气喷嘴内的颗粒物进入晶圆存放装置内污染晶圆。
本实用新型清扫装置及半导体生产设备在权利要求书中公布了：1.一种清扫装置，其特征在于，包括： 清扫机构，包括进气喷嘴和排气喷嘴，所述进气喷嘴用于向晶圆存放装置内注入氮气，所述排气喷嘴用于在晶圆存放装置内注入氮气时将所述晶圆存放装置内的气体排出所述晶圆存放装置； 净化机构，通过第一连通处与所述进气喷嘴连通，以及通过第二连通处与所述排气喷嘴连通； 在所述清扫机构停机时，所述净化机构用于通过所述第一连通处向所述进气喷嘴注入时长为预设时间间隔的清扫气体，以及通过所述第二连通处向所述排气喷嘴注入时长为预设时间间隔的清扫气体，以将沉积在所述进气喷嘴和所述排气喷嘴内的颗粒物清除。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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