上欧科技(湖州)有限公司;苏州波渺微测科技有限公司周鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉上欧科技(湖州)有限公司;苏州波渺微测科技有限公司申请的专利一种晶圆承载和检测触发平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223829781U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520127576.8，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆承载和检测触发平台是由周鹏;龚海;陈俊秀;沈海江;高涵;顾溢杰设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆承载和检测触发平台在说明书摘要公布了：一种晶圆承载和检测触发平台，它涉及半导体晶圆加工技术领域。本实用新型解决了现有的晶圆检测设备存在检测时间长，检测效率低，设备价格昂贵，无法在当前工艺站点及时检测出结果和找到问题原因的问题。本实用新型的检测台安装在基座上表面中心位置，薄膜压力传感器安装在检测台上表面，多个晶圆限位杆沿圆周方向均匀分布在检测台四周，晶圆限位杆竖直安装在基座上表面，每个晶圆限位杆内侧面上部均加工成圆锥面，圆锥面与晶圆相匹配，工业相机设置在检测台正上方，工业相机安装在工业相机支架上，工业相机支架安装在基座上。本实用新型用于提供一种价格低廉，采集图像速度快，可以应用在任何工艺后直接检测的晶圆检测装置。
本实用新型一种晶圆承载和检测触发平台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载和检测触发平台，其特征在于：它包括基座1、检测台2、薄膜压力传感器3、工业相机6、工业相机支架7和多个晶圆限位杆5，检测台2安装在基座1上表面中心位置，薄膜压力传感器3安装在检测台2上表面，多个晶圆限位杆5沿圆周方向均匀分布在检测台2四周，晶圆限位杆5竖直安装在基座1上表面，每个晶圆限位杆5内侧面上部均加工成圆锥面，圆锥面与晶圆4相匹配，工业相机6设置在检测台2正上方，工业相机6安装在工业相机支架7上，工业相机支架7安装在基座1上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上欧科技(湖州)有限公司;苏州波渺微测科技有限公司，其通讯地址为：313098 浙江省湖州市红丰路1366号6幢9层988-33室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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