昆山日月同芯半导体有限公司崔晓建获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山日月同芯半导体有限公司申请的专利一种半导体晶圆清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223829776U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520063759.8,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种半导体晶圆清洗装置是由崔晓建;胡明翊;贾红星设计研发完成,并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆清洗装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体晶圆清洗装置,应用在清洗装置领域,包括清洗仓,所述清洗仓的一侧固定连接有连接板;本实用新型通过设置驱动电机、螺纹杆、螺纹盘、连接支撑架和清洗网框,两个清洗网框可以同步进行向上或向上移动,可满足对半导体晶的沉入清洗以及清洗后上抬;通过设置旋转电机驱动齿轮二和齿轮一旋转,通过齿轮一带动支撑柱及其内部的两个连接支撑架旋转可将两个清洗网框的位置进行调换,两个清洗网框每次只会有一个清洗网框沉入清洗仓的内部被清洗,而另一个清洗网框则可以进行半导体晶的清洗前的上料或清洗后的下料;从而无需装置停止进行上、下料,可节省上、下料时间,提高清洗效率。
本实用新型一种半导体晶圆清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆清洗装置,包括清洗仓1,其特征在于:所述清洗仓1的一侧固定连接有连接板2,所述连接板2的顶部设有支撑柱3,所述支撑柱3的内部设有螺纹盘4,所述螺纹盘4的内部螺纹连接有螺纹杆5,所述螺纹盘4的表面固定连接有两个连接支撑架6,两个所述连接支撑架6的底部固定连接有清洗网框7,所述支撑柱3的顶部安装有驱动电机8,所述驱动电机8的输出端通过联轴器与螺纹杆5固定安装;所述支撑柱3的表面固定套接有齿轮一9,所述齿轮一9啮合有齿轮二10,所述齿轮二10的顶部设有旋转电机11,所述旋转电机11通过支架与清洗仓1固定安装,所述旋转电机11的输出端通过键与齿轮二10固定安装。
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