江苏先导微电子科技有限公司轩苏兵获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利一种新型晶圆吹扫盘及装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223829769U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423229606.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种新型晶圆吹扫盘及装置是由轩苏兵;樊俊设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型晶圆吹扫盘及装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种新型晶圆吹扫盘及装置，涉及半导体制造技术领域，其中新型晶圆吹扫盘，包括吹扫盘本体；吹扫盘本体内设有进气腔道、中心吹扫腔以及多个环形腔道；中心吹扫腔设置于吹扫盘本体内部中心位置；进气腔道一端与中心吹扫腔导通，另一端延伸出吹扫盘本体外；多个环形腔道环绕中心吹扫腔设置，且沿吹扫盘本体的中心向外依次间隔分布；中心吹扫腔与最内侧的环形腔道导通；相邻环形腔道连接导通；吹扫盘本体的一侧面上对应中心吹扫腔以及环形腔道的位置，对应设有分别连通中心吹扫腔以及环形腔道的出气孔。该设计有效解决晶圆件表面尤其是中心位置灰尘颗粒很难被完全吹扫干净的问题。
本实用新型一种新型晶圆吹扫盘及装置在权利要求书中公布了：1.一种新型晶圆吹扫盘，其特征在于，包括吹扫盘本体100； 所述吹扫盘本体100内设有进气腔道11、中心吹扫腔12以及多个环形腔道13； 所述中心吹扫腔12设置于所述吹扫盘本体100内部中心位置； 所述进气腔道11一端与所述中心吹扫腔12导通，另一端延伸出所述吹扫盘本体100外； 多个所述环形腔道13环绕所述中心吹扫腔12设置，且沿所述吹扫盘本体100的中心向外依次间隔分布； 所述中心吹扫腔12与最内侧的所述环形腔道13导通； 相邻所述环形腔道13连接导通； 所述吹扫盘本体100的一侧面上对应所述中心吹扫腔12以及环形腔道13的位置，对应设有分别连通所述中心吹扫腔12以及所述环形腔道13的出气孔21。
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