芯嵛半导体(上海)有限公司王辉获国家专利权
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龙图腾网获悉芯嵛半导体(上海)有限公司申请的专利一种用于离子注入的多靶盘扫描机器人获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223828416U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520116749.6，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型一种用于离子注入的多靶盘扫描机器人是由王辉;蔡霆;包峰峰;邝斌;陈炯设计研发完成，并于2025-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于离子注入的多靶盘扫描机器人在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种用于离子注入的多靶盘扫描机器人，属于半导体制造技术领域，其包括有依次相连接的扫描连接座、扫描移动机构和扫描翻转部；扫描翻转部可转动地连接在扫描移动机构上，在扫描翻转部上排布设置有两个以上的靶盘，两个以上的靶盘位于扫描翻转部的转动轴线的同一侧。本实用新型的扫描机器人能够同时固持多片晶圆进行扫描注入，可有效缩短平均每片晶圆的处理时间；同时，晶圆上每一个点接触离子束的时间间隔也会变长，因此会有更多的自修复时间以及更多的冷却时间；本方案可以无需改变整个束流系统，可以在现有的单片机的基础上改造而成，易于实施，并且不会影响工艺结果及设备安全可靠运行，具有极高的应用价值。
本实用新型一种用于离子注入的多靶盘扫描机器人在权利要求书中公布了：1.一种用于离子注入的多靶盘扫描机器人，其特征在于，包括有依次相连接的扫描连接座11、扫描移动机构12和扫描翻转部13；扫描翻转部13可转动地连接在扫描移动机构12上，在扫描翻转部13上排布设置有两个以上的靶盘14，两个以上的靶盘14位于扫描翻转部13的转动轴线的同一侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯嵛半导体(上海)有限公司，其通讯地址为：201206 上海市浦东新区自由贸易试验区金穗路1055号4幢202室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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