湖南大学姜潮获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南大学申请的专利一种基于杠杆差分的新型硅谐振加速度计结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223827697U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423139915.9,技术领域涉及:G01P15/097;该实用新型一种基于杠杆差分的新型硅谐振加速度计结构是由姜潮;姚中洋;陈盼设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于杠杆差分的新型硅谐振加速度计结构在说明书摘要公布了:本发明属于精密传感器技术领域,公开了一种基于杠杆差分的新型硅谐振加速度计结构;该结构包括上中下三层,中间层为单晶硅微机械结构,包含质量块、放大杠杆结构、双端固定音叉式谐振器等;通过中心锚点和两种传力方向相反的放大杠杆结构,实现了两个谐振器受力差分,减少了支撑锚点数量,使谐振器在温变工况下处于热膨胀自由状态,降低了热应力影响,提高了温度性能;同时,缩减了应力隔离框面积,降低了加工工艺难度,推动了硅谐振加速度计向超精密系统的工程化应用。
本实用新型一种基于杠杆差分的新型硅谐振加速度计结构在权利要求书中公布了:1.一种基于杠杆差分的新型硅谐振加速度计结构,其特征在于:所述的新型硅谐振加速度计结构由上中下三层结构组成,中间层为加速度计的微机械结构,其材料为单晶硅;上层为玻璃盖板,与中间层的质量块支撑锚点、外框架和电极键合,内部存在金属导线用于引出频率信号;下层玻璃盖板与中间层硅外框架键合实现真空封装;所述的中间微机械结构包括质量块、放大杠杆结构、双端固定音叉式谐振器、中心应力隔离框、驱动检测梳齿、中心锚点、质量块支撑锚点、质量块支撑梁和外框架。
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