常州臻晶半导体有限公司赵海殿获国家专利权
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龙图腾网获悉常州臻晶半导体有限公司申请的专利籽晶水冷轴旋转装置、长晶炉及籽晶生长系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223823740U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520401704.3,技术领域涉及:C30B35/00;该实用新型籽晶水冷轴旋转装置、长晶炉及籽晶生长系统是由赵海殿;祁雪峰;陆敏设计研发完成,并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本籽晶水冷轴旋转装置、长晶炉及籽晶生长系统在说明书摘要公布了:本实用新型属于单晶生长设备技术领域,具体涉及一种籽晶水冷轴旋转装置、长晶炉及籽晶生长系统,本籽晶水冷轴旋转装置包括:灯笼架、磁流体、驱动机构、水滑环机构、水冷中转轴和籽晶水冷轴;驱动机构被配置为驱动水滑环机构转动,以带动水冷中转轴及籽晶水冷轴转动,且水滑环机构、水冷中转轴、籽晶水冷轴内液体进行循环;本实用新型通过将驱动机构、水滑环机构安装在灯笼架上,且由驱动机构柔性连接水滑环机构和水冷中转轴,同时将水冷中转轴与籽晶水冷轴连接,避免旋转件直接与籽晶轴硬接触连接,并且磁流体既能起到柔性限位,也能实现密封功能,保证籽晶水冷轴受力均匀,克服漏水、渗水问题。
本实用新型籽晶水冷轴旋转装置、长晶炉及籽晶生长系统在权利要求书中公布了:1.一种籽晶水冷轴旋转装置,其特征在于,包括: 灯笼架1、磁流体2、驱动机构3、水滑环机构4、水冷中转轴5和籽晶水冷轴6;其中 所述灯笼架1与磁流体2连接,所述驱动机构3与灯笼架1连接,且所述水滑环机构4安装在灯笼架1上; 所述驱动机构3与水滑环机构4转动连接,所述水冷中转轴5与驱动机构3转动连接,且所述籽晶水冷轴6穿过磁流体2且与水冷中转轴5连接; 所述水滑环机构4的内部与水冷中转轴5的内部连通,所述水冷中转轴5的内部与籽晶水冷轴6连通; 所述驱动机构3被配置为驱动水滑环机构4转动,以带动所述水冷中转轴5及籽晶水冷轴6转动,且使所述水滑环机构4、水冷中转轴5、籽晶水冷轴6内液体进行循环。
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