上海华力微电子有限公司王赫获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力微电子有限公司申请的专利阳极板气泡检测去除装置、电镀腔体及晶圆电镀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223823725U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520335875.0，技术领域涉及：C25D17/00；该实用新型阳极板气泡检测去除装置、电镀腔体及晶圆电镀设备是由王赫;陆加亮设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本阳极板气泡检测去除装置、电镀腔体及晶圆电镀设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种阳极板气泡检测去除装置、电镀腔体及晶圆电镀设备，阳极板安装于电镀腔体内；气泡检测去除装置包括设置在电镀腔体的内部的气泡监测组件和气泡消除组件以及设置在电镀腔体的外部的信息获取组件；气泡监测组件用于监测阳极板的顶面的气泡产生信息；信息获取组件与气泡监测组件连接，信息获取组件，被配置为：根据气泡监测组件监测到的气泡产生信息以及预设气泡堵塞条件，获取阳极板的导流孔是否发生堵塞；气泡消除组件设置在所述阳极板的下方，气泡消除组件，被配置为：在阳极板的导流孔发生堵塞时开启，以向阳极板发射声波。本实用新型能防止阳极板的顶面的导流孔变形，使电镀液顺畅通过，降低晶圆缺陷，提高产品良率。
本实用新型阳极板气泡检测去除装置、电镀腔体及晶圆电镀设备在权利要求书中公布了：1.一种阳极板气泡检测去除装置，其特征在于，所述阳极板安装于电镀腔体内；所述气泡检测去除装置包括设置在所述电镀腔体的内部的气泡监测组件和气泡消除组件以及设置在所述电镀腔体的外部的信息获取组件； 所述气泡监测组件，配置为监测所述阳极板的顶面的气泡产生信息； 所述信息获取组件与所述气泡监测组件连接，所述信息获取组件，被配置为：根据所述气泡监测组件监测到的所述气泡产生信息以及预设气泡堵塞条件，获取所述阳极板的导流孔是否发生堵塞； 所述气泡消除组件设置在所述阳极板的下方，所述气泡消除组件，被配置为：在所述阳极板的导流孔发生堵塞时开启，以向所述阳极板发射声波。
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