天合光能股份有限公司徐锐获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利原子层沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223823699U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520440588.6，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型原子层沉积装置是由徐锐设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本原子层沉积装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种原子层沉积装置。原子层沉积装置包括：导电壳体，具有反应腔；电极结构，设于所述反应腔内，且与所述导电壳体绝缘设置；进气组件，设于所述导电壳体上，且与所述反应腔连通；承载组件，设于所述反应腔内；射频电源，包括正极和负极，所述正极和所述电极结构电连接，所述负极和所述导电壳体电连接。本申请有利于降低原子层沉积装置的结构复杂度和制作成本。
本实用新型原子层沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积装置，其特征在于，包括： 导电壳体，具有反应腔； 电极结构，设于所述反应腔内，且与所述导电壳体绝缘设置； 进气组件，设于所述导电壳体上，且与所述反应腔连通； 承载组件，设于所述反应腔内； 射频电源，包括正极和负极，所述正极和所述电极结构电连接，所述负极和所述导电壳体电连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天合光能股份有限公司，其通讯地址为：213031 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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