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楚赟精工科技(上海)有限公司郑冬获国家专利权

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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利半导体生长设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223823698U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520074759.8,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型半导体生长设备是由郑冬设计研发完成,并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

半导体生长设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种半导体生长设备,包括围绕生长腔室内侧壁设置的导流装置、升降驱动装置和缓冲驱动装置,导流装置包括导流装置本体,缓冲驱动装置设于导流装置本体侧壁,升降驱动装置设于导流装置本体的顶部、底部和侧壁中任意一种并位于生长腔室外以带动导流装置本体进行升降运动;或者,缓冲驱动装置设于导流装置本体的顶部,升降驱动装置设于导流装置本体侧壁并延伸至生长腔室外以带动导流装置本体进行升降运动,即使升降驱动装置在启动时出现丢步、空滑等启动异常情况,缓冲驱动装置能够对导流装置本体提供向上的辅助作用力作为补偿,从而减轻或避免因升降驱动装置启动异常而导致的导流装置升降卡顿问题。

本实用新型半导体生长设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体生长设备,其特征在于,包括生长腔室及设置于所述生长腔室的导流装置,所述导流装置围绕所述生长腔室的内侧壁设置,所述导流装置包括导流装置本体; 还包括升降驱动装置和缓冲驱动装置; 所述缓冲驱动装置设于所述导流装置本体侧壁并延伸至所述生长腔室外,或者设于所述导流装置本体顶部并延伸至所述生长腔室外,以对所述导流装置本体提供向上的辅助作用力; 当所述缓冲驱动装置设于所述导流装置本体侧壁,所述升降驱动装置设于所述导流装置本体的顶部、底部和侧壁中任意一种并位于所述生长腔室外以带动所述导流装置本体进行升降运动; 当所述缓冲驱动装置设于所述导流装置本体的顶部,所述升降驱动装置设于所述导流装置本体侧壁并延伸至所述生长腔室外,以带动所述导流装置本体进行升降运动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人楚赟精工科技(上海)有限公司,其通讯地址为:201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路665号三层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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