嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心尹永强获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心申请的专利一种静电粉末同轴电容器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223823696U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423194139.2,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种静电粉末同轴电容器是由尹永强;陈鸿飞;陈俊豪;薛翔宇;明帅强;李明;王浙加;夏洋设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电粉末同轴电容器在说明书摘要公布了:本申请属于原子层沉积技术领域,涉及一种静电粉末同轴电容器,包括:外柱体,用于容纳内柱体;内柱体,用于与所述外柱体共同形成电场;所述内柱体设置于所述外柱体中;绝缘部,用于绝缘所述外柱体和所述内柱体;所述绝缘部分别与所述外柱体和所述内柱体连接;其中,所述外柱体连接电源的负极,所述内柱体连接所述电源的正极。本申请提供的一种静电粉末同轴电容器提高了粉末在原子层沉积过程中的分散均匀性,从而提高了薄膜的质量;减少了粉末团聚现象,避免了因团聚导致的设备堵塞和操作中断;通过静电辅助分散,提高了粉末ALD设备的工作效率和稳定性;该技术可以扩展到其他需要粉末分散的工业领域,具有广泛的应用前景。
本实用新型一种静电粉末同轴电容器在权利要求书中公布了:1.一种静电粉末同轴电容器,其特征在于,包括: 外柱体,用于容纳内柱体; 内柱体,用于与所述外柱体共同形成电场;所述内柱体设置于所述外柱体中; 绝缘部,用于绝缘所述外柱体和所述内柱体;所述绝缘部分别与所述外柱体和所述内柱体连接; 其中,所述外柱体连接电源的负极,所述内柱体连接所述电源的正极。
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