常州捷佳创精密机械有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉常州捷佳创精密机械有限公司申请的专利卧式热丝CVD工艺腔及抽真空装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223823694U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520049781.7，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型卧式热丝CVD工艺腔及抽真空装置是由左国军;朱海剑;侯岳明;杨虎设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本卧式热丝CVD工艺腔及抽真空装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于太阳能电池生产制造技术领域，具体涉及一种卧式热丝CVD工艺腔及抽真空装置，本装置包括：上盖，压合在工艺腔的上端面；其中工艺腔的下端面与真空管连接；热解机构，设置在所述上盖的内部，适于对导入上盖内的工艺气体进行热解进而对工艺腔内设置的硅片进行镀膜；以及抽真空装置，其包括：叠泵机构，设置在工艺腔的一侧；其中所述真空管的两端分与叠泵机构、工艺腔连接；其中所述叠泵机构适于在启动后利用真空管抽取工艺腔内的气体以使工艺腔内形成真空。
本实用新型卧式热丝CVD工艺腔及抽真空装置在权利要求书中公布了：1.一种卧式热丝CVD工艺腔，其特征在于，包括： 上盖3，压合在工艺腔2的上端面；其中 工艺腔2的下端面与真空管11连接； 热解机构30，设置在所述上盖3的内部，适于对导入上盖3内的工艺气体进行热解进而对工艺腔2内设置的硅片进行镀膜；以及 抽真空装置，其包括： 叠泵机构1，设置在工艺腔2的一侧；其中 所述真空管11的两端分与叠泵机构1、工艺腔2连接；其中 所述叠泵机构1适于在启动后利用真空管11抽取工艺腔2内的气体以使工艺腔2内形成真空。
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