河南恒祯实业有限公司赵亚恒获国家专利权
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龙图腾网获悉河南恒祯实业有限公司申请的专利一种晶圆工装夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223823690U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520078209.3,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种晶圆工装夹具是由赵亚恒;马付山设计研发完成,并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆工装夹具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆加工技术领域,公开了一种晶圆工装夹具,包括放置盘,所述放置盘的顶部固定连接有控制弧板,所述控制弧板的外表面开设有开口,所述控制弧板的外表面固定连接有调节支板,所述调节支板的顶部固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有转轴,所述转轴的另一端固定连接有齿轮,所述齿轮的外表面啮合连接有齿板。本实用新型具有以下优点和效果:工作人员将圆片放置在放置盘,从一侧推入,随后驱动电机控制转轴转动带动齿轮结合齿轮的外表面啮合连接有齿板,使齿轮的转动带动齿板在滑架上推动,使夹持推架对圆片外侧进行夹持固定,提升整体装置的灵活性,便于调节,提升整体装置的工作效率。
本实用新型一种晶圆工装夹具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆工装夹具,包括放置盘1和滑槽19,其特征在于:所述放置盘1的顶部固定连接有控制弧板2,所述控制弧板2的外表面开设有开口3,所述控制弧板2的外表面固定连接有调节支板4,所述调节支板4的顶部固定连接有电机5,所述电机5的输出端固定连接有转轴6,所述转轴6的另一端固定连接有齿轮7,所述齿轮7的外表面啮合连接有齿板8,所述齿板8的底部滑动连接有滑架9,所述滑架9的底部与调节支板4的顶部固定连接,所述齿板8的另一端固定连接有夹持推架10。
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