苏州清煜半导体科技有限公司石林获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州清煜半导体科技有限公司申请的专利一种制备涂层的工装设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223823689U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520046087.X，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种制备涂层的工装设备是由石林;罗胜益;杨倩倩;陈明设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种制备涂层的工装设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及长晶设备技术领域，具体涉及一种制备涂层的工装设备，其包括壳体、承载筒和多组承载组件，壳体内置有封闭的容纳腔，沿第一方向两端导通的承载筒内置于容纳腔，多组承载组件沿第一方向相互间隔固设于承载筒的内壁，承载组件具有至少三个共面的支撑点，壳体固定连接有支撑杆，支撑杆在承载筒内并沿第一方向延伸，支撑杆沿第一方向固设有多个坩埚，本申请通过每个承载组件都能承载一个中继环，实现了多个中继环的同时镀膜作业，大大地提高了生产效率，沿第一方向设置的若干坩埚内放置钽源，可以使得容纳腔内中间反应产物氧化钽气氛更加均匀，确保每个中继环表面的涂层的均匀性。
本实用新型一种制备涂层的工装设备在权利要求书中公布了：1.一种制备涂层的工装设备，其特征在于，包括壳体1、承载筒2和多组承载组件3，所述壳体1内置有封闭的容纳腔11，沿第一方向两端导通的所述承载筒2内置于所述容纳腔11，多组所述承载组件3沿第一方向相互间隔固设于所述承载筒2的内壁，所述承载组件3具有至少三个共面的支撑点，所述壳体1固定连接有支撑杆5，所述支撑杆5在所述承载筒2内并沿第一方向延伸，所述支撑杆5沿第一方向固设有多个坩埚6。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州清煜半导体科技有限公司，其通讯地址为：215127 江苏省苏州市吴中区甪直镇东方大道268号中科半导体产业社区A幢10层1004-4室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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