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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利一种空心阴极装置及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223823685U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423129921.6，技术领域涉及：C23C14/32；该实用新型一种空心阴极装置及镀膜设备是由薛雷雷;弗一鹏;聂伟华设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种空心阴极装置及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及太阳能电池技术领域，公开了一种空心阴极装置及镀膜设备，该装置包括石英玻璃管体、导电钼管、引弧电源、第一发射体、第二发射体、钽管、喷嘴组件、聚焦磁铁、聚焦线圈、水冷套管以及偏转线圈；所述石英玻璃管体设有第一腔体和第二腔体；所述喷嘴组件设于所述第二腔体；所述聚焦磁铁、所述聚焦线圈套设在所述第二腔体外；所述水冷套管与所述石英玻璃管体同轴设置，且外部套设有所述偏转线圈，所述偏转线圈可沿所述水冷套管的轴向移动。本实用新型的有益效果：便于对装置内部的零件进行观察，易于检修，同时，可避免装置整体温度过高，容易损坏。射出的离子束偏转角度可调，适用于多种镀膜设备，通用性强。

本实用新型一种空心阴极装置及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种空心阴极装置，其特征在于：包括石英玻璃管体、导电钼管、引弧电源、第一发射体、第二发射体、钽管、喷嘴组件、聚焦磁铁、聚焦线圈、水冷套管以及偏转线圈； 所述石英玻璃管体沿轴向设有第一腔体和第二腔体； 所述导电钼管设于所述第一腔体且与所述石英玻璃管体同轴设置，所述导电钼管与所述石英玻璃管体的一端连接，所述导电钼管内沿轴向间隔设有所述第一发射体、所述第二发射体，所述导电钼管的另一端与所述第二腔体连通； 所述引弧电源与所述石英玻璃管体连接； 所述钽管的一端位于所述第一腔体外，另一端沿所述石英玻璃管体的轴向延伸设于所述导电钼管内，且依次贯穿所述第一发射体、所述第二发射体，所述钽管用于通入惰性气体，且产生等离子体； 所述喷嘴组件设于所述第二腔体，且一端与所述第一腔体连通，另一端与所述水冷套管内部连通； 所述聚焦磁铁、所述聚焦线圈套设在所述第二腔体外，且与所述石英玻璃管体同轴设置，并在所述第二腔体内产生聚焦磁场，用于将所述第一腔体内的等离子体经所述聚焦磁场聚集成等离子束，所述等离子束从所述喷嘴组件射出至所述水冷套管； 所述水冷套管与所述石英玻璃管体同轴设置，且外部套设有所述偏转线圈，所述水冷套管的另一端与镀膜设备连接，所述偏转线圈可沿所述水冷套管的轴向移动，改变所述等离子束进入所述镀膜设备的偏转角度。

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