江阴纳力新材料科技有限公司程毅获国家专利权
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龙图腾网获悉江阴纳力新材料科技有限公司申请的专利一种蒸发镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223823684U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520342833.X,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种蒸发镀膜装置是由程毅;周亮;闫国伟;李学法;张国平设计研发完成,并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蒸发镀膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及蒸发镀膜领域,尤其是一种蒸发镀膜装置,包括蒸发镀膜单元,其使从蒸发镀膜源蒸发的蒸发物质在基膜上进行蒸发镀膜,真空室,其规定用于设置上述蒸发镀膜源和上述基膜的空间并且能够将该空间维持为真空,激光蒸发单元,其位于真空室内,用于发射大功率激光使蒸发镀膜源蒸发。该装置通过激光发射器,使其发射大功率激光束,对准托盘上的蒸发镀膜源表面进行扫描式照射,激光束使蒸发镀膜源的表层蒸发,蒸发物质沉积到基膜表面,形成薄膜。此蒸发方式无需电阻加热,减少了电阻材料腐蚀与铝液的混合产生的飞溅,及长时间生产电阻波动产生的产品不良,大大提高产品的良率。
本实用新型一种蒸发镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种蒸发镀膜装置,其特征在于:包括, 蒸发镀膜单元100,其使从蒸发镀膜源101蒸发的蒸发物质101a在基膜102上进行蒸发镀膜; 真空室200,其规定用于设置上述蒸发镀膜源101和上述基膜102的空间并且能够将该空间维持为真空; 激光蒸发单元300,包括激光发射器305,所述激光发射器305设置在真空室200内、且倾斜设置,使所述激光发射器305发射的激光倾斜照射在蒸发镀膜源101的顶部,所述激光发射器305用于发射大功率激光使蒸发镀膜源101蒸发,所述激光发射器305通过调节机构306对蒸发镀膜源101进行扫描式照射。
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