江苏微导纳米科技股份有限公司石帅获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种真空冷却暂存机构以及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223823677U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520306894.0，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型一种真空冷却暂存机构以及薄膜沉积设备是由石帅;吴刘兴设计研发完成，并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空冷却暂存机构以及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种真空冷却暂存机构以及薄膜沉积设备，涉及半导体设备技术领域。该真空冷却暂存机构包括暂存仓、密封闸阀、储存盒、抽真空组件和冷却模组。抽真空组件与暂存仓连接，储存盒设置于暂存仓内，暂存仓开设有传输口，密封闸阀用于封闭或者打开传输口，冷却模组与暂存仓连接，冷却模组用于对暂存仓进行冷却。与现有技术相比，本实用新型提供的真空冷却暂存机构由于采用了与暂存仓连接的抽真空组件以及安装于暂存仓的密封闸阀，所以能够保证暂存仓的洁净度，避免其受传输仓的影响，并且能够直接将暂存仓内的气体抽出，快速带走晶圆散发的热量，冷却效率高。
本实用新型一种真空冷却暂存机构以及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种真空冷却暂存机构，其特征在于，包括暂存仓、密封闸阀、储存盒、抽真空组件和冷却模组，所述抽真空组件与所述暂存仓连接，所述储存盒设置于所述暂存仓内，所述暂存仓开设有传输口，所述密封闸阀用于封闭或者打开所述传输口，所述冷却模组与所述暂存仓连接，所述冷却模组用于对所述暂存仓进行冷却。
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