江苏先导微电子科技有限公司轩苏兵获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利一种新型腔盖开启机构及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223823676U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423229611.1，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型一种新型腔盖开启机构及镀膜设备是由轩苏兵;樊俊设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型腔盖开启机构及镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种新型腔盖开启机构及镀膜设备，涉及半导体真空设备技术领域，包括机构主体、翻转臂、驱动件以及传动组件；传动组件包括蜗杆以及涡轮；蜗杆转动安装在机构主体；涡轮转动安装在机构主体，且与蜗杆啮合；驱动件与蜗杆连接，用于带动蜗杆转动；翻转臂一端与涡轮连接，在涡轮转动时同步进行翻转。该设计开启闭合操作更加简单，且安全性更高；结构紧凑，节省安装空间，维修方便，适用于型腔盖使用。
本实用新型一种新型腔盖开启机构及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种新型腔盖开启机构，其特征在于，包括机构主体1、翻转臂2、驱动件4以及传动组件； 所述传动组件包括蜗杆31以及涡轮32； 所述蜗杆31转动安装在所述机构主体1； 所述涡轮32转动安装在所述机构主体1，且与所述蜗杆31啮合； 所述驱动件4与所述蜗杆31连接，用于带动所述蜗杆31转动； 所述翻转臂2一端与所述涡轮32连接，在所述涡轮32转动时同步进行翻转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏先导微电子科技有限公司，其通讯地址为：221116 江苏省徐州市徐州高新技术产业开发区先导南路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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