上海积塔半导体有限公司陈一萍获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利晶圆货架获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223822525U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520180052.5，技术领域涉及：B65G1/02；该实用新型晶圆货架是由陈一萍;曾繁中设计研发完成，并于2025-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆货架在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆货架。晶圆货架包括：支架；料台，设置于所述支架上，用于承载晶圆；风机组，设置于所述支架上并位于所述料台上方，所述风机组包括多个离子风机和多个过滤风机，所述离子风机用于向所述晶圆提供离子气流，所述过滤风机用于朝向所述晶圆提供过滤气流。上述技术方案在晶圆货架上设置离子风机和过滤风机，通过离子风机提供带有正负电荷的离子气流，可以将将晶圆表面上所带的电荷中和掉，消除静电效果，降低静电带来的风险；并通过提供新鲜洁净的过滤气流，有效稀释和冲洗污染源，从而降低污染物的浓度，降低晶圆表面的颗粒污染物。
本实用新型晶圆货架在权利要求书中公布了：1.一种晶圆货架，其特征在于，包括： 支架； 料台，设置于所述支架上，用于承载晶圆； 风机组，设置于所述支架上并位于所述料台上方，所述风机组包括多个离子风机和多个过滤风机，所述离子风机用于向所述晶圆提供离子气流，所述过滤风机用于朝向所述晶圆提供过滤气流。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路600号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励