上海积塔半导体有限公司王雪妍获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利研磨垫修整装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223820329U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520433191.4，技术领域涉及：B24B53/017；该实用新型研磨垫修整装置是由王雪妍;李恒;同小刚;闫晓晖设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨垫修整装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种研磨垫修整装置。所述装置包括：固定支架，固定设置于研磨垫的边缘，所述固定支架与所述研磨垫之间具有一间距；摆臂，其第一端固定连接至所述固定支架，其第二端能够延伸至所述研磨垫的上方，所述摆臂能够围绕所述固定支架平扫；多个修整器，均连接至所述摆臂，并能够在所述摆臂的带动下对所述研磨垫的表面进行修整。通过在摆臂上安装多个修整器，多个修整器可以同时工作，覆盖研磨垫的不同区域，可以使得修整时间大幅缩短，提升了CMP工艺的整体效率，减少了因运动带来的振动和位置偏差，提高了修整精度和一致性，避免局部过度磨损，使得研磨垫的使用寿命得以延长。
本实用新型研磨垫修整装置在权利要求书中公布了：1.一种研磨垫修整装置，其特征在于，包括： 固定支架，固定设置于研磨垫的边缘，所述固定支架与所述研磨垫之间具有一间距； 摆臂，其第一端固定连接至所述固定支架，其第二端能够延伸至所述研磨垫的上方，所述摆臂能够围绕所述固定支架平扫； 多个修整器，均连接至所述摆臂，并能够在所述摆臂的带动下对所述研磨垫的表面进行修整。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路600号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励