浙江创芯集成电路有限公司臧志城获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利化学机械研磨设备、化学机械研磨系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223820310U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520234194.5，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型化学机械研磨设备、化学机械研磨系统是由臧志城;夏汇哲;孙永康;王斌超;张俊铠设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学机械研磨设备、化学机械研磨系统在说明书摘要公布了：本公开实施例提供了一种化学机械研磨设备、化学机械研磨系统，其中，化学机械研磨设备包括：主轴；盖板，与所述主轴连接；十字架板，位于所述盖板下方，且能够围绕所述主轴旋转，所述十字架板的每个支板具有用于连接抛光头的孔洞；多组喷嘴组件，每组喷嘴组件围绕单个所述孔洞设置，且所述喷嘴组件中的喷嘴朝向所述盖板的下表面，以清理溅到所述下表面的液体。采用上述技术方案，解决研磨液溅射到盖板上形成结晶的问题。
本实用新型化学机械研磨设备、化学机械研磨系统在权利要求书中公布了：1.一种化学机械研磨设备，其特征在于，包括： 主轴； 盖板，与所述主轴连接； 十字架板，位于所述盖板下方，且能够围绕所述主轴旋转，所述十字架板的每个支板具有用于连接抛光头的孔洞； 多组喷嘴组件，每组喷嘴组件围绕单个所述孔洞设置，且所述喷嘴组件中的喷嘴朝向所述盖板的下表面，以清理溅到所述下表面的液体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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