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江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利一种主轴调试工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223820304U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520162229.9,技术领域涉及:B24B37/11;该实用新型一种主轴调试工装是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种主轴调试工装在说明书摘要公布了:本申请公开了一种主轴调试工装,包括主轴定位件,主轴定位件具有第一定位部和第一外周面;台面定位件,台面定位件具有第二定位部;定位连接件,定位连接件能够分别与第一定位部和第二定位部配合,以使主轴的轴线和旋转台的轴线平行;测量组件,测量组件包括可伸缩的测量表针,测量组件能够通过第一连接结构可拆卸的连接于台面定位件,第一连接结构被配置为使测量表针的顶端与台面定位件的轴线重合,能够提高调试的精度和可操作性,确保了晶圆减薄机主轴与旋转台之间的精确位置关系,提高设备的加工精度和产品质量,有助于生产出高质量的晶圆产品。

本实用新型一种主轴调试工装在权利要求书中公布了:1.一种主轴调试工装,用于调试晶圆减薄机的主轴相对于旋转台的位置,其特征在于,所述主轴调试工装包括: 主轴定位件,所述主轴定位件能够同轴装配于所述主轴,所述主轴定位件具有第一定位部,所述主轴定位件包括第一外周面,所述第一外周面的尺寸用于与所述主轴上的砂轮的外周尺寸相匹配; 台面定位件,所述台面定位件能够同轴装配于所述旋转台,所述台面定位件具有第二定位部; 定位连接件,所述定位连接件能够分别与所述第一定位部和所述第二定位部配合,以使所述主轴的轴线和所述旋转台的轴线平行; 测量组件,所述测量组件包括可伸缩的测量表针,所述测量组件能够通过第一连接结构可拆卸的连接于所述台面定位件,所述第一连接结构被配置为使所述测量表针的顶端与所述台面定位件的轴线重合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏元夫半导体科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区行创四路7号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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